[发明专利]一种非旋转式的微波等离子体装置有效
| 申请号： | 201810462778.2 | 申请日： | 2018-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN108666202B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 阮存军;刘静;戴军;孔德胤;李仁杰 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01J61/30 | 分类号： | H01J61/30;H01J61/52;H01J65/04 |
| 代理公司： | 11002 北京路浩知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莹;吴欢燕<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 灯泡 微波等离子体装置 微波谐振腔 非旋转式 谐振腔 腔体 等离子体 高导热性材料 灯泡形状 电场分布 电场形状 激发效率 所处位置 形状确定 组成构件 透明的 中空的 组合形 散热 微波 电机 驱动 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波等离子体装置，其特征在于，包括灯泡、支撑柱和微波谐振腔；微波谐振腔为中空的腔体，所述灯泡设置于所述腔体中；所述支撑柱的上端与灯泡的下端固定连接，所述支撑柱的下端与微波谐振腔的底面固定连接；所述灯泡由设定材料制成，所述设定材料为对微波和光均透明的高温、高导热性材料；
其中，所述设定材料为蓝宝石材料；
其中，所述灯泡的形状由所述微波谐振腔的形状确定；
所述微波谐振腔的横截面为圆形，所述微波谐振腔整体为圆柱体，相应地，所述灯泡的纵截面为组合形；
所述组合形包括矩形、第一半圆形和第二半圆形，所述矩形的上边与第一半圆形的直径重合，所述矩形的下边与第二半圆形的直径重合，所述矩形与第一半圆形及第二半圆形连通。
2.根据权利要求1所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述微波谐振腔的横截面为圆形，所述微波谐振腔整体为圆柱体，相应地，所述灯泡的纵截面为椭圆形。
3.根据权利要求1所述的微波等离子体装置，其特征在于，还包括波导；所述微波谐振腔的底部设置有耦合孔，所述波导通过耦合孔与微波谐振腔连接。
4.根据权利要求3所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述波导内部设置有磁控管探头。
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