[发明专利]一种新型可变焦数字全息显微镜在审

专利信息
申请号: 201810463142.X 申请日: 2018-05-15
公开(公告)号: CN108415230A 公开(公告)日: 2018-08-17
发明(设计)人: 张旭辉;许之敏 申请(专利权)人: 许之敏
主分类号: G03H1/00 分类号: G03H1/00;G03H1/04
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 刘晓晖
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 透射 参考光束 分光棱镜 非偏振 物光束 数字全息显微镜 透镜 偏振分光棱镜 四分之一波片 平面镜反射 表面干涉 全息图像 移动物镜 可变焦 物镜 相机 三维实时形貌测量 成像技术领域 二分之一波片 反射镜反射 方式获取 数字全息 线偏振光 样品表面 反射光 平面波 前透镜 出射 可用 反射 光源 平行
【权利要求书】:

1.一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:反射式数字全息显微镜的光源发出的线偏振光经二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波,其中一束透射光束作为物光束,另一束经偏振分光棱镜反射为参考光束;物光束经过反射镜反射后依次经过非偏振分光棱镜、透镜和物镜后平行出射于样品表面,样品的反射光经过物镜和透镜后仍为平面波,经非偏振分光棱镜反射后与参考光束在相机表面干涉;参考光束依次经四分之一波片透射、第一平面镜反射、四分之一波片再次透射、偏振分光棱镜透射、第二平面镜反射和非偏振分光棱镜透射后与物光束在相机表面干涉成全息图像。

2.一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:透射式数字全息显微镜的光源发出的线偏振光经二分之一波片和偏振分光棱镜后分为两束偏振态垂直的光波,其中一束透射光束作为物光束,另一束经偏振分光棱镜反射为参考光束;物光束经过反射镜反射后照射于样品表面,由物镜收集后,依次经过透镜准直、非偏振分光棱镜反射后入射相机;另一束参考光束穿过四分之一波片经第一平面镜反射后,再次透过四分之一波片和偏振分光棱镜,依次经过第二平面镜反射、非偏振分光棱镜透射后入射相机,与物光束干涉后产生含有样品表面信息的干涉条纹。

3.按照权利要求1或2所述一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:所述四分之一波片的光轴与光路平面呈45度。

4.按照权利要求1或2所述一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:所述光源包括发光源,发光源为半导体激光器、气体激光器、LED、Super LED,发光源发出的光经过针孔内的第一聚焦透镜和第二聚焦透镜。

5.按照权利要求1或2所述一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:所述光源由激光器发出光通过光纤耦合输出后经第三聚焦透镜准直至合适光斑大小后输出。

6.按照权利要求1或2所述一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:所述光源为线偏振光源。

7.按照权利要求1或2所述一种新型可变焦数字全息显微镜,其特征在于:选用扩束镜将棱镜的入射光斑和出射光斑进行扩束。

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