[发明专利]增强微波与等离子体耦合率的谐振腔及微波等离子体装置

权利要求书

1.一种增强微波与等离子体耦合率的谐振腔，其特征在于，包括：

等离子体发生装置、支撑装置、微波电场调频装置及谐振腔壁；

所述等离子体发生装置，与所述支撑装置连接，用于生成等离子体；

所述支撑装置，与所述等离子体发生装置连接，用于支撑所述等离子体发生装置；

所述微波电场调频装置，包裹在所述支撑装置外部，通过调节包裹所述支撑装置的比例来确定反射损耗最小的微波电场频率；所述微波电场调频装置包括：金属套；所述金属套的形状为空心圆柱体并且可以移动；

所述谐振腔壁，包裹所述等离子体发生装置、支撑装置及微波电场调频装置，用于形成所述增强微波与等离子体耦合率的谐振腔。

2.根据权利要求1所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔，其特征在于，所述等离子体发生装置包括：石英球。

3.根据权利要求1所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔，其特征在于，所述支撑装置包括：支撑棒。

4.根据权利要求1所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔，其特征在于，所述谐振腔壁的形状包括圆柱体，所述圆柱体上具有蜂窝状观察孔。

5.一种微波等离子体装置，其特征在于，包括：

微波传输装置及权利要求1到4任一权利要求所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔；

所述微波传输装置，与权利要求1到4任一权利要求所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔耦合，用于向增强微波与等离子体耦合率的谐振腔内传输微波以电离等离子体。

6.根据权利要求5所述的微波等离子体装置，其特征在于，所述微波传输装置包括：

耦合孔、装置壁及微波发生装置；

所述耦合孔，安装在所述装置壁上，用于将所述微波传输装置与权利要求1到4任一权利要求所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔耦合；

所述微波发生装置，安装在所述装置壁内部，用于产生微波，所述微波通过所述耦合孔传输进权利要求1到4任一权利要求所述的增强微波与等离子体耦合率的谐振腔；

所述装置壁上装有耦合孔并且包裹所述微波发生装置，用于形成所述微波传输装置。