[发明专利]一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置

权利要求书

1.一种用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，该烧结装置包括：

烧结装置本体，所述烧结装置本体包括炉膛上盖、炉膛本体和炉膛下盖，其中所述炉膛上盖与所述炉膛本体的上部紧固连接，所述炉膛下盖与所述炉膛本体的下部可活动连接；

承烧台，设置在所述炉膛下盖上，用于放置管状靶材；

旋转组件，用于旋转所述承烧台。

2.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述旋转组件为磁旋转组件。

3.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述炉膛上盖、所述炉膛本体和所述炉膛下盖由耐火材料纤维板通过楔形结构错缝拼接而成。

4.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述炉膛下盖与所述炉膛本体之间通过台阶密封方式可活动连接。

5.根据权利要求3所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述耐火材料纤维板中设置有刚玉支撑柱。

6.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述炉膛本体外层采用纳米级陶瓷纤维板。

7.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，还设置有用于固定所述烧结装置的炉体框架。

8.根据权利要求7所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述炉体框架包括圆筒形套筒，所述圆筒形套筒设置在所述烧结装置的外部。

9.根据权利要求1所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述烧结装置还包括升降组件，用于驱动所述炉膛下盖的升降。

10.根据权利要求9所述用于管状靶材制备的内旋转高温烧结装置，其特征在于，所述烧结装置还包括导向组件，用于所述升降组件的升降导向和定位。