[发明专利]一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法在审
| 申请号： | 201810466251.7 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108530087A | 公开（公告）日： | 2018-09-14 |
| 发明（设计）人： | 舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管状靶材 高温烧结 混合加热 烧结 内旋转 微波 素坯 制备 工业化应用 电阻加热 混合方式 加热管状 加热过程 素坯成型 微波加热 旋转状态 无变形 靶材 加热 裂变 收缩 | ||
1.一种管状靶材的微波混合加热内旋转高温烧结方法，包括如下步骤：
S1、管状靶材素坯成型；
S2、加热管状靶材素坯，加热过程中使所述管状靶材素坯处于旋转状态，在烧结温度下保持设定的时间，其中所述加热管状靶材素坯采用微波加热与电阻加热混合方式进行；
S3、降温，停止旋转，直至室温，得到烧结好的管状靶材。
2.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述管状靶材的材质包括氧化铟锡、氧化锌铝、氧化铟镓锌、氧化镁锌。
3.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述管状靶材素坯围绕其中心轴旋转，旋转速度设定为9～15转/分钟。
4.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2中，加热过程具体为，先采用微波加热至设定温度，然后停止微波加热并启动电阻加热至烧结温度。
5.根据权利要求4所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述微波加热至设定温度为500℃。
6.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S3中，降温到250℃时停止所述管状靶材的旋转。
7.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述管状靶材的长度可达480mm、外径可达360mm。
8.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2的加热过程在氧气气氛下进行。
9.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2在烧结温度下保持设定的时间在2.5～7.5小时之间。
10.根据权利要求1所述的微波混合加热内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2的烧结温度设置在1380～1600℃之间。
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