[发明专利]一种高效高温固化碳化硅籽晶的工艺

权利要求书

1.一种高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，其特征在于，采用具有盖子、坩埚盖、坩埚、底盘、底盘测温孔、通气孔的坩埚治具进行碳化硅籽晶的高温固化；所述通气孔的每两个相邻气孔形成倒Z字型，两孔中轴分别于水平线成5°～15°倾斜，内外两孔中轴相距1/4气孔直径，在坩埚壁中心交汇重叠处交汇导通，其中内孔为高位置；包括以下步骤：

步骤S1，用富碳的粘剂将碳化硅籽晶粘贴至坩埚盖上，将坩埚和粘贴完籽晶的坩埚盖依次从20mm～50mm底盘开始叠装，盖上盖子；所述富碳的粘剂为碳胶；

步骤S2，然后将经步骤S1处理的坩埚治具放入高温炉中，对坩埚治具抽真空至压力5x10^-2mbar以下并向坩埚治具中充入氩气至压力在300mbar～1000mbar，坩埚治具通过水冷式感应线圈或电阻进行加热，将碳胶石墨化，完成高效高温固化碳化硅籽晶；所述加热的程序具体为：

阶段i，加热10h至500℃～1000℃的温度；

阶段ii，加热1h～5h至1000℃～1400℃的温度；

阶段iii，加热1h～5h至1000℃～1600℃的温度；

阶段iv，5～15h冷却降至室温；

所述坩埚治具采用石墨材料制备而成；所述坩埚的厚度为10mm～30mm；所述底盘测温孔的直径为5mm～20mm；所述气孔的直径为10mm～30mm；所述底盘测温孔采用红外高温测温仪测温控温。

2.根据权利要求1所述的高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，其特征在于，步骤S2中，所述充入氩气至压力在800mbar。

3.根据权利要求1所述的高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，其特征在于，所述加热的程序具体为：

阶段i，加热10h至1000℃的温度；

阶段ii，加热2h至1200℃的温度；

阶段iii，加热2h至1400℃的温度；

阶段iv，8h冷却降至室温。

4.根据权利要求1所述的高效高温固化碳化硅籽晶的工艺，其特征在于，所述加热的程序具体为：

阶段i，加热10h至1000℃的温度；

阶段ii，加热3h至1200℃的温度；

阶段iii，加热3h至1400℃的温度；

阶段iv，8h冷却降至室温。