[发明专利]一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器及其探测方法

权利要求书

1.一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器，包括衬底和衬底上的多层膜，其特征在于，所述衬底为通讯波段透明的光学材料；所述多层膜具有光学奇异点，由无损耗光学材料和有损耗光学半导体材料交替排列组成，形成一维周期性阵列，其中，以四层膜为一个结构单元，所述多层膜包括一个或者多个结构单元。

2.根据权利要求1所述的一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器，其特征在于，所述衬底为石英玻璃、氧化镁、氟化钙或者氧化铝。

3.根据权利要求1所述的一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器，其特征在于，所述有损耗光学半导体材料为非晶硅或者掺杂的三五族半导体。

4.根据权利要求1所述的一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器，其特征在于，所述无损耗光学材料为二氧化硅。

5.根据权利要求1所述的一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器，其特征在于，所述多层膜包括4-12个结构单元，每个结构单元中的每一层膜厚为纳米量级。

6.利用如权利要求1所述一种基于光学奇异点设计的多层膜光探测器的探测方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将待测定的信号光照射在所述多层膜上，引起有损耗光学半导体材料折射率的变化；

(2)打开泵浦激光器，并利用光探测器配合光电倍增管监测无反射一端的光信号变化。

7.根据权利要求6所述的探测方法，其特征在于，所述步骤(1)中，信号光的波长为可见光或者近红外波段。

8.根据权利要求6所述的探测方法，其特征在于，所述步骤(2)中，激光器的波长为所述多层膜发生单向无反射时的波长。