[发明专利]薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法在审
申请号: | 201810468489.3 | 申请日: | 2018-05-16 |
公开(公告)号: | CN110079761A | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 张东晖 | 申请(专利权)人: | 张东晖 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人: | 孙皓晨;李林 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 遮罩 导电膜 模具 金属蒸镀 膨胀系数 薄型化 基材 导电膜表面 基材表面 不导电 开口处 图形部 影响区 遮蔽 沉积 电铸 蒸镀 制程 制造 金属 | ||
1.一种薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法,其特征是先备制一模具,该模具具有以不导电材质所制成的基材,以及该基材表面所设置的导电膜,该基材的膨胀系数小于导电膜的膨胀系数,并在该导电膜上设置有具有缺口的图形部,然后将模具以电铸制程(electrotyping),让金属以导电膜为背景沉积于导电膜表面形成蒸镀用的遮罩。
2.如权利要求1所述薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法,其特征在于:该模具的导电膜是多个并排设置于该基材表面,而该模具在进行电铸制程前,将该模具置入于金属框架中,再将该模具与该金属框架同时进行电铸制程,让金属以该导电膜以及该金属框架为背景沉积形成蒸镀用的遮罩,使遮罩在该导电膜上形成遮罩部,以及在该金属框架上形成连接部,且该遮罩部两端连接于该连接部。
3.如权利要求1所述薄型化金属蒸镀遮罩的制造方法,其特征在于:该模具的导电膜是多个并排设置于该基材表面,而该模具在进行电铸制程前,将该模具置入于金属框架中,而该金属框架由两相对的固定件,以及两固定件两端之间所连接的连接件所构成,且固定件表面间隔设置有复数个不导电区,让两相邻的不导电区之间形成有导电区,并使该模具的导电膜两端分别正对于该导电区,再将该模具与该金属框架同时进行电铸制程,让金属以该导电膜以及该金属框架为背景沉积形成蒸镀用的遮罩,使遮罩在该导电膜上形成遮罩部,以及在该金属框架的导电区上形成连接部,且该遮罩部两端连接于该连接部。
4.如权利要求3所述的薄型化金属蒸镀遮罩,其特征在于:该金属框架在各固定件的导电区上设置有调整件。
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