[发明专利]一种触控面板、触控装置及其制作方法

说明书

本发明公开了一种触控面板、触控装置及其制作方法，以解决现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在触控电极的方阻较大，触控面板功耗较大的问题。所述制作方法，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，所述第一辅助电极与所述第一触控电极之间相互间隔；在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种触控面板、触控装置及其制作方法。

背景技术

随着触控技术的发展，金属网格(Metal mesh)技术逐渐触控产品中得到广泛的应用。受低价智能手机和平板电脑的市场冲击，触控面板产业的价格战日益加剧。经过激烈的市场竞争，处于弱势的中小型触控面板厂商一度面临淘汰出局的压力。面对压力，触控面板厂商早已寻求新的替代材料来降低成本压力，以Metal Mesh主的新技术材料代替传统ITO触控面板的价格竞争得到业界普遍关注。

但现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在走线方阻较大，使触控面板功耗较大的问题。

发明内容

本发明提供一种触控面板、触控装置及其制作方法，以解决现有技术中使用金属网格状的触控电极时，存在走线方阻较大，使触控面板功耗较大的问题。

本发明实施例提供一种触控面板的制作方法，包括：

在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，其中，所述第一辅助电极与所述第一触控电极之间相互间隔；

在所述第一触控电极之上形成图案化的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；

在所述第一绝缘层之上形成第一金属层；

将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极。

可选的，在将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极之后，所述制作方法还包括：在所述第二触控电极之上形成图案化的第二绝缘层，其中，所述第二绝缘层仅覆盖所述第二触控电极。

可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，以及位于各网格内的块状第一辅助电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。

可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极，包括：

在衬底基板之上形成第二金属层；

通过曝光、显影、刻蚀工艺，将所述第二金属层图案化为网格状的第一触控电极，位于各网格内的块状第一辅助电极，以及位于边框区域的环状第二辅助电极。

可选的，所述在衬底基板之上形成网格状的第一触控电极，包括：在衬底基板之上形成网格状的触控感应电极；

所述将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的第二触控电极，包括：将所述第一辅助电极以及所述第一金属层图案化为网格状的触控驱动电极。

可选的，所述第一辅助电极与包围该所述第一辅助电极的所述第一触控电极之间间隔的间距为3μm～5μm。

本发明还提供一种利用本发明实施例提供的所述制作方法制作的触控面板，所述触控面板包括：

位于衬底基板之上的网格状的第一触控电极；

位于所述第一触控电极之上的第一绝缘层，其中，所述第一绝缘层仅覆盖所述第一触控电极；