[发明专利]一种清洗装置及其应用和清洗方法

权利要求书

1.一种清洗装置，用于清洗刻蚀设备的过滤器，其特征在于，包括：

储液槽，用于储存清洗液，设置有第一开口和第二开口；

进液管，一端连接于所述第一开口，另一端用于与所述过滤器的进液口连接；

出液管，一端连接于所述第二开口，另一端用于与所述过滤器的出液口连接；

循环泵，设置于所述进液管和/或所述出液管上，以使所述清洗液在所述储液槽和所述过滤器之间循环流动。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括排液管，所述排液管与所述过滤器的进液口或出液口相连，以使所述清洗液从所述排液管排出。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述排液管设置有抽液装置，用于将所述排液管中的液体抽出。

4.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述过滤器的进液口和出液口、所述进液管、所述出液管、所述排液管分别设置有阀门。

5.如权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述阀门包括电动阀门、气动阀门和电磁阀门中的至少一种。

6.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗液包括能够溶解金属络合物的溶液，所述金属络合物包括铜络合物、钼络合物、铬络合物和镍络合物中的至少一种。

7.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述储液槽、所述进液管、所述出液管和所述循环泵的材质包括耐所述清洗液腐蚀的金属材质或塑料材质。

8.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述储液槽的容积大于所述过滤器的容积。

9.一种清洗方法，用于清洗刻蚀设备的过滤器，其特征在于，包括：

提供如权利要求1-8任一项所述的清洗装置，将所述清洗装置中的所述进液管与所述过滤器的进液口相连，将所述出液管与所述过滤器的出液口相连；

开启所述循环泵，使所述清洗液通过所述进液管和所述出液管，在所述储液槽和所述过滤器之间循环流动，对所述过滤器进行正向或反向清洗；

关闭所述循环泵，将所述过滤器中的所述清洗液排出。

10.一种刻蚀设备，其特征在于，包括如权利要求1-8任一项所述的清洗装置。