[发明专利]掩蔽固定装置

权利要求书

1.一种处理工件的方法，所述方法包括：

引导加压流体射流冲击所述工件的外表面，所述加压流体射流包括夹带在所述加压流体射流中的研磨介质；和

在引导所述加压流体射流冲击所述外表面的同时，引导清洗流通过所述工件。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，引导所述清洗流包括引导所述清洗流通过所述工件的内部空腔。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，引导所述清洗流进一步包括通过所述工件的所述外表面中的多个孔将所述清洗流从所述工件的所述内部空腔引导到所述工件周围的周围环境。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：在引导所述加压流体射流之前，将第一掩蔽固定装置设置在所述工件的第一端上，并将第二掩蔽固定装置设置在所述工件的第二端上。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，设置所述第一掩蔽固定装置包括在所述第一掩蔽固定装置的柔性密封盖与所述工件的所述第一端之间形成清洗流空腔，并且设置所述第二掩蔽固定装置包括在所述第二掩蔽固定装置的密封盖与所述工件的所述第二端之间形成第二清洗流空腔。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，设置所述第一掩蔽固定装置进一步包括将所述第一掩蔽固定装置的所述柔性密封盖与所述工件的第一端密封地接合，并且其中设置所述第二掩蔽固定装置进一步包括将所述第二掩蔽固定装置的所述柔性密封盖与所述工件的第二端密封地接合。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，设置所述第一掩蔽固定装置进一步包括将所述第一掩蔽固定装置的所述柔性密封盖与所述第一掩蔽固定装置的刚性盖密封地接合，并且其中设置所述第二掩蔽固定装置进一步包括将所述第二掩蔽固定装置的所述柔性密封盖与所述第二掩蔽固定装置的刚性盖密封地接合。

8.一种用于在处理工件期间保护所述工件的掩蔽固定装置，所述掩蔽固定装置包括：

柔性盖，所述柔性盖包括：

周边边缘；

底壁，与所述周边边缘平行且间隔开；

多个侧壁，在所述周边边缘与所述底壁之间延伸，所述多个侧壁大致正交于所述周边边缘和所述底壁；

外壳，由所述底壁和所述多个侧壁界定；

内部边缘，平行于所述周边边缘和所述底壁延伸，所述内部边缘设置在所述底壁与所述周边边缘之间的所述外壳内；

突出部，从所述底壁向所述周边边缘延伸，所述突出部大致正交于所述底壁；和

通气口，形成于所述底壁中用于连接清洗空气供应，所述通气口与所述外壳流体连通。

9.根据权利要求8所述的掩蔽固定装置，进一步包括在所述外壳内的清洗流空腔，所述清洗流空腔由所述底壁和所述多个侧壁的选定侧壁界定。

10.根据权利要求8所述的掩蔽固定装置，进一步包括刚性盖，所述刚性盖包含底壁和多个侧壁，所述多个侧壁大致正交于所述刚性盖的所述底壁延伸，所述刚性盖的所述底壁的内表面和所述刚性盖的所述多个侧壁的内表面界定所述刚性盖的空腔，所述柔性盖容纳在所述刚性盖的所述空腔内。