[发明专利]射频电源的脉冲调制系统及方法有效
| 申请号： | 201810474665.4 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110504149B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 韦刚;卫晶;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 王思超 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射频 电源 脉冲调制 系统 方法 | ||
1.一种射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，包括：调制输出模块、输入模块和频率调节模块；
所述调制输出模块，用于输出脉冲调制射频信号，所述脉冲调制射频信号的每个脉冲周期包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，在所述脉冲开启阶段的初始时间段设置有过冲子阶段；
所述输入模块，与所述频率调节模块相连，用于接收输入的所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的射频频率，并发送至所述频率调节模块作为预设频率；所述预设频率为定频频率；
所述频率调节模块，与所述调制输出模块相连，用于调节所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的射频频率为所述预设频率，以使所述过冲子阶段的反射功率或反射系数能够实现点火成功；
所述反射系数小于0.5。
2.根据权利要求1所述的射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，所述反射系数小于0.2。
3.根据权利要求1所述的射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的功率范围为所述射频电源的最大输出功率的0.5～1倍。
4.根据权利要求3所述的射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的功率范围为所述射频电源的最大输出功率的0.8～1倍。
5.根据权利要求1所述的射频电源的脉冲调制系统，其特征在于，所述过冲子阶段的时长≤所述脉冲开启阶段的时长的10％，所述脉冲调制射频信号的脉冲调制频率为10Hz～100KHz，占空比是10％～90％。
6.一种射频电源的脉冲调制方法，其特征在于，包括以下步骤：
输出脉冲调制射频信号，所述脉冲调制射频信号的每个脉冲周期包括脉冲开启阶段和脉冲关闭阶段，在所述脉冲开启阶段的初始时间段设置有过冲子阶段；
接收输入的所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的射频频率，并发送至频率调节模块作为预设频率；所述预设频率为定频频率；
在输出脉冲调制射频信号时，调节所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的射频频率为所述预设频率，以使所述过冲子阶段的反射功率或反射系数能够点火成功；
所述反射系数小于0.5。
7.根据权利要求6所述的射频电源的脉冲调制方法，其特征在于，所述反射系数小于0.2。
8.根据权利要求6所述的射频电源的脉冲调制方法，其特征在于，所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的功率范围为所述射频电源的最大输出功率的0.5～1倍。
9.根据权利要求8所述的射频电源的脉冲调制方法，其特征在于，所述过冲子阶段的所述脉冲调制射频信号的功率范围为所述射频电源的最大输出功率的0.8～1倍。
10.根据权利要求8所述的射频电源的脉冲调制方法，其特征在于，所述过冲子阶段的时长≤所述脉冲开启阶段的时长的10％，所述脉冲调制射频信号的脉冲调制频率为10Hz～100KHz，占空比是10％～90％。
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