[发明专利]图案化柔性有机薄膜及制备方法、层叠体及图案化方法有效
申请号: | 201810480971.9 | 申请日: | 2018-05-18 |
公开(公告)号: | CN108682627B | 公开(公告)日: | 2019-05-21 |
发明(设计)人: | 冯雪;曹宇 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L21/3105 | 分类号: | H01L21/3105;H01L21/311 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图案化 有机薄膜 功能性膜 层叠体 制备 干法造纸 纤维 | ||
1.一种图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述图案化的柔性有机薄膜通过将功能性膜与待图案化的柔性有机薄膜接触而进行图案化而得到,其中:
所述功能性膜中含有能够与待图案化的柔性有机薄膜反应的溶液;
所述功能性膜为通过干法造纸法得到的、含有纤维的膜,所述纤维选自植物纤维和/或合成纤维。
2.根据权利要求1所述的图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述功能性膜中的含有能够与待图案化的柔性有机薄膜反应的溶液中包括氧化性成分。
3.根据权利要求2所述的图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述氧化性成分为过氧化物。
4.根据权利要求2所述的图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述氧化性成分为过氧化氢。
5.根据权利要求1或2所述的图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述图案化是在加热的条件下进行的。
6.根据权利要求1或2所述的图案化的柔性有机薄膜,其特征在于,所述柔性有机薄膜为包含硫化物的柔性有机薄膜。
7.一种柔性有机薄膜图案化方法,其特征在于,包括如下步骤:
a)准备待图案化的柔性有机薄膜以及功能性膜的步骤;
b)将功能性膜与待图案化的柔性有机薄膜进行接触的步骤,
所述功能性膜中含有能够与待图案化的柔性有机薄膜反应的溶液,所述功能性膜为通过干法造纸法得到的、含有纤维的膜,所述纤维选自植物纤维和/或合成纤维。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述步骤a)中,包括对待图案化的柔性有机薄膜进行预处理的步骤和/或对功能性膜施加所述溶液的步骤。
9.根据权利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述功能性膜中的含有能够与待图案化的柔性有机薄膜反应的溶液中包括氧化性成分。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述氧化性成分为过氧化物。
11.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,所述氧化性成分为过氧化氢。
12.根据权利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述图案化是在加热的条件下进行的。
13.根据权利要求7或8所述的方法,其特征在于,所述柔性有机薄膜为包含硫化物的柔性有机薄膜。
14.一种图案化柔性有机薄膜用的层叠体,其特征在于,所述层叠体包括:
基底层;
功能性膜层,所述功能性膜层设置于基底层的至少一个表面上;
以及任选存在的可剥离层,所述可剥离层设置于所述功能性膜层的与基底层相对的表面上,
其中,所述功能性膜层包括通过干法造纸法得到的、含有纤维的膜,
所述图案化柔性有机薄膜是通过将功能性膜层与待图案化的柔性有机薄膜接触进行图案化而得到的。
15.根据权利要求14所述的层叠体,其特征在于,所述纤维选自植物纤维和/或合成纤维。
16.一种使用如权利要求14或15所述的层叠体对柔性有机薄膜进行图案化处理的方法,其特征在于,包括如下步骤:
将所述层叠体形成任意形状或图案的步骤;
将任选存在的可剥离层剥离的步骤;
使用溶液浸渍所述功能性膜层的步骤;
将浸渍后的功能性膜层与柔性有机薄膜接触的步骤;
其中所述溶液中含有能够与所述柔性有机薄膜反应的成分。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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