[发明专利]硬掩模用组合物及图案形成方法

权利要求书

1.一种硬掩模用组合物，其包含：

具有来源于碳原子数6～40的芳香族化合物的芳香族单元与由下述化学式1或化学式2表示的来源于含有脂肪族不饱和基团的缩醛化合物的脂肪族不饱和单元结合而成的重复单元的聚合物；及

溶剂，

化学式1

化学式2

化学式1和2中，Ar为具有碳原子数6～40且可包含杂原子的取代或非取代的芳香族烃基，

R₁、R₂、R₃和R₄各自独立地为氢、或者碳原子数1～6的饱和或不饱和脂肪族烃基。

2.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述化学式1和化学式2中，R₁、R₂、R₃和R₄各自为氢。

3.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述芳香族单元来源于选自由下述化学式3-1～3-8所表示的化合物组成的组中的至少一种，

化学式3-1

化学式3-2

化学式3-3

化学式3-4

化学式3-5

化学式3-6

化学式3-7

化学式3-8

4.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述脂肪族不饱和单元来源于下述化学式4所表示的化合物，

化学式4

化学式4中，R₁、R₂和R₃各自独立地为氢、或者碳原子数1～6的饱和或不饱和脂肪族烃基，

R₄和R₅各自独立地为碳原子数1～4的烷基，R₄和R₅彼此可以稠合而形成环状缩醛。

5.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述脂肪族不饱和单元来源于选自由下述化学式6-1～6-8所表示的化合物组成的组中的至少一种，

化学式6-1

化学式6-2

化学式6-3

化学式6-4

化学式6-5

化学式6-6

化学式6-7

化学式6-8

6.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，所述聚合物的末端包含烷氧基。

7.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，组合物总重量中，所述聚合物的含量为10～50重量％。

8.根据权利要求1所述的硬掩模用组合物，其进一步包含交联剂、催化剂和表面活性剂中的至少一种。

9.一种图案形成方法，其使用由权利要求1～8中任一项所述的硬掩模用组合物形成的抗蚀剂下层膜。