[发明专利]一种温度传感器及其制作方法有效
申请号: | 201810485823.6 | 申请日: | 2018-05-21 |
公开(公告)号: | CN108680273B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 王凯;冯肖;李伟伟;林晨欢 | 申请(专利权)人: | 佛山市顺德区中山大学研究院;广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院;中山大学 |
主分类号: | G01K7/34 | 分类号: | G01K7/34 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 左恒峰 |
地址: | 528399 广东省佛山市顺德区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 温度传感器 及其 制作方法 | ||
1.一种温度传感器的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
A.使用丙酮将基片清洗干净后放入干燥箱中干燥,并标记正反面;其中,基片采用ITO玻璃基片;
B.采用提拉镀膜机将基片缓慢浸入电介质溶液中,待电介质溶液表面平静后,将基片垂直、均匀的向上升高;
C.将基片置于50度~70度下干燥8小时,再置于80度下干燥2~5小时,得到镀膜基片;
D.在镀膜基片的两侧上分别制作金属电极(12);
E.在金属电极(12)上粘贴导热膜(2)。
2.根据权利要求1所述的一种温度传感器的制备方法,其特征在于:所述步骤D在镀膜基片的两侧上分别制作金属电极(12)的具体步骤为:采用磁控溅射技术在干燥后的镀膜基片上镀上金属电极(12)。
3.根据权利要求1所述的一种温度传感器的制备方法,其特征在于:所述步骤B中的电介质薄膜为PVDF薄膜,所述金属电极(12)为银电极。
4.根据权利要求1所述的一种温度传感器的制备方法,其特征在于:所述步骤E中的导热膜(2)采用硅胶材料或石墨材料制成。
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