[发明专利]一种柔性太阳能电池前板的制备方法在审
| 申请号： | 201810487495.3 | 申请日： | 2018-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN108766865A | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 徐强;任晓艳;白安琪;王雪戈 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L31/049 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 董天宝;于宝庆 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性太阳能电池 前板 等离子体清洗 制备 清洗 太阳能电池前板 聚酯材料层 无机薄膜层 表层沉积 层压 改性 制作 | ||
1.一种柔性太阳能电池前板的制备方法，包括：
提供第一表层；
对所述第一表层进行等离子体清洗；
向清洗后的第一表层沉积无机薄膜层，得到改性后的第一表层；
提供第二表层；及
将第二表层层压于第一表层之上。
2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体清洗是等离子体原位清洗。
3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，第二表层与第一表层之间设有粘结剂。
4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体清洗的步骤包括：
在压力为10毫托～100托下，通过处理气体对所述第一表层进行等离子体清洗，所述处理气体选自氮气、氩气、氢气、四氟化碳、氨气、氧气和臭氧中的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，其中所述压力为10毫托～1托。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述处理气体为氧气或臭氧。
7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体清洗的时间为1～100min。
8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述等离子体清洗的温度为25℃～180℃。
9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述沉积为原子层沉积或化学气相沉积。
10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一表层的材料选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚对苯二甲酸丙二醇酯、聚丙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚酰胺、聚甲基丙烯酸甲酯中的一种或多种；所述无机薄膜层的材料选自氮化钛、氧化铝、氧化钛中的一种或多种。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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