[发明专利]一种化学膜光学元件的保鲜方法

说明书

本发明公开了一种化学膜光学元件的保鲜方法，该保鲜方法通过对化学膜光学元件进行密封熏蒸、超声波清洗、光照烘干，对夹持装置进行100级洁净度清洁，并将化学膜光学元件安装在夹持装置后整体封装的操作步骤，实现了化学膜光学元件在大型激光装置流通、转运过程中的技术指标的不降低，洁净度不受污染的要求。

技术领域

本发明属于高能、高功率大型激光装置领域，具体涉及一种化学膜光学元件的保鲜方法。

背景技术

在大型激光装置中，激光光学薄膜按照制备方法可分为两种，即物理方法（真空蒸镀法）和化学方法（包括化学气相沉积和化学溶液沉积）。随着惯性约束聚变（ICF）高功率固体激光装置的逐步升级，对光学薄膜激光负载能力提出更高的要求，同时，大口径光学元件的镀膜及合理的经济问题也成为传统物理镀膜无法攻克的难关。溶胶凝胶化学镀膜以其低成本、简单的镀膜工艺、优良的激光损伤阈值及适宜大口径光学元件的镀膜优势引起了各国ICF研究机构的极大兴趣。目前溶胶凝胶化学镀膜在先进国家已成为一项成熟的技术，在高功率激光装置的光学薄膜的优势得到了充分的展示。鉴于化学膜是一种软膜，不具有物理膜的可擦拭性，其在腐蚀液中容易遭到破坏，而且本身又缺乏自修复能力。光学元件在其化学膜镀制完成后，制成了化学膜光学元件，化学膜光学元件在传递流通过程必须隔离周边环境的改变而带来的附加污染（例如灰尘吸附、渣滓和油气的浸润等），其包装方法需要特殊设计，确保在传递流通过程中，保持化学膜光学元件的表面质量。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种化学膜光学元件的保鲜方法。

本发明的化学膜光学元件的保鲜方法包括以下步骤：

a.将化学膜光学元件放置在氨气自然挥发的密封环境内熏制24h；

b.将步骤a获得的化学膜光学元件继续在六甲基二硅胺烷自然挥发的密封环境内放置24h；

c.将化学膜光学元件的夹持装置进行用超声波清洗并烘干；

d.将步骤c获得的化学膜光学元件的夹持装置继续用优级乙醇擦拭，完成去污去油去湿工作；

e.将步骤b获得的化学膜光学元件在100级洁净度环境下安装在步骤d获得的化学膜光学元件的夹持装置中，获得整体装置；

f.将整体装置在纯氮气环境中包裹保鲜膜，获得包装装置Ⅰ，将包装装置Ⅰ放置在洁净环境中；

g.准备脱离洁净环境开始运输前，将步骤f获得的包装装置Ⅰ放置在洁净袋里，并向洁净袋里充入氮气置换空气后密封洁净袋，获得包装装置Ⅱ，包装装置Ⅱ进行整体运输。

步骤a 中所述的氨气自然挥发的密封环境中采用氨水作为挥发介质，氨水中NH₃的摩尔含量为25%~28%。

步骤b中所述的六甲基二硅胺烷自然挥发的密封环境中采用六甲基二硅胺烷溶液作为挥发介质，六甲基二硅胺烷溶液中C₆H₁₉NSi₂的摩尔含量≧98% ，H₂O的摩尔含量≦0.15%。

步骤c 中所述的用超声波清洗并烘干为超声波清洗后烘干，超声波频率为50Hz，烘干采用100W功率的光照烘干，烘干时间为2~4小时。

步骤d 中所述的用优级乙醇擦拭的条件是擦拭绸布为100级洁净度绸布，优级乙醇为CH₃CH₂OH摩尔含量≥99.8%、CO羰基化合物的质量分数≤0.003%的乙醇；

本发明的化学膜光学元件的保鲜方法实现了化学膜光学元件在大型激光装置流通、转运过程中的技术指标的不降低，洁净度不受污染的要求。

具体实施方式

下面结合实施例详细说明本发明。