[发明专利]一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台

权利要求书

1.一种基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：包括固定框架（1）和工作台（4），工作台（4）设在固定框架（1）的中部，工作台（4）的四周均设有结构相同的T形位移解耦柔性机构，各个相邻的T形位移解耦柔性机构均互相垂直，其中两个相邻的T形位移解耦柔性机构的外侧均设置结构相同的对称式位移放大柔性机构，固定框架（1）上靠近对称式位移放大柔性机构的两个侧面的内侧面上均设有凹槽（7），凹槽（7）内设有压电叠堆驱动器，压电叠堆驱动器的位移驱动端与对称式位移放大柔性机构相接触，T形位移解耦柔性机构与对称式位移放大柔性机构同用至少一个连杆与柔性铰链，T形位移解耦柔性机构、对称式位移放大柔性机构、压电叠堆驱动器与工作台（4）整体关于压电叠堆驱动器的位移输出轴线对称；

所述T形位移解耦柔性机构由竖向板簧（6）、两个横向连杆（3）与两个柔性铰链Ⅱ（5）组成，竖向板簧（6）位于T形位移解耦柔性机构的中心线上，竖向板簧（6）外端的两侧均依次连接一个柔性铰链Ⅱ（5）和横向连杆（3），竖向板簧（6）的自由内端连接工作台（4）的外侧壁中心，横向连杆（3）的自由端连接柔性铰链Ⅰ（2），柔性铰链Ⅰ（2）连接固定框架（1），T形位移解耦柔性机构与工作台（4）整体关于竖向板簧（6）的轴线对称。

2.如权利要求1所述的基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：所述T形位移解耦柔性机构中两个横向连杆（3）与柔性铰链Ⅱ（5）分别是对称式位移放大柔性机构中两个相互对称的杠杆放大机构的杠杆与位移输出点柔性铰链，横向连杆（3）的自由端与连接在固定框架（1）上的柔性铰链Ⅰ（2）也是杠杆放大机构的支点柔性铰链，杠杆放大机构的柔性铰链Ⅲ（15）位于T形位移解耦柔性机构中横向连杆（3）的外侧且靠近柔性铰链Ⅰ（2）的一端，两个柔性铰链Ⅲ（15）共同连接动力传递板（11），动力传递板（11）的底面中间处有一个凸台（8），凸台（8）与压电叠堆驱动器的位移驱动端接触。

3.如权利要求1所述的基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：所述对称式位移放大柔性机构为对称式单级杠杆位移放大柔性机构、对称式二级杠杆位移放大柔性机构或对称式Scott-Russell位移放大柔性机构中的任一种。

4.如权利要求1所述的基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：所述凹槽（7）的底面开有预紧用螺纹通孔，固定框架（1）表面的四个角位置各开有一个螺纹孔Ⅰ（9），固定框架（1）表面上在凹槽（7）两侧的上表面各开有一个螺纹孔Ⅱ（12）。

5.如权利要求1所述的基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：所述工作台（4）为中部有方孔的方形框架结构，工作台（4）表面的四个角位置各开有一个螺纹孔Ⅲ（16）。

6.如权利要求1所述的基于压电驱动的二维并联柔性微动平台，其特征在于：所述柔性铰链Ⅱ（5）是单边直圆形、直圆形、椭圆形或矩形中的一种。