[发明专利]一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路

权利要求书

1.一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，包括：

气源（1），以及

供气管路（19），其数量有两路，两路供气管路（19）均连接气源，两路供气管路（19）后端汇集成一路作为供气端，第一供气管路包括有依次连接的第一截止阀（4）和第一调压阀（8），第二供气管路包括有依次连接的第二截止阀（18）和第二调压阀（17）；供气管路（19）后端连接有出口阀（10，14）；

其特征在于，单路和/或两路供气管路（19）的出口阀（10，14）前端装有流量监测器（9，13）。

2.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述出口阀（10，14）是气动阀或电动阀。

3.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述流量监测器（9，13）流量超过设定值则触发打开该流量监测器（9，13）所在供气管路（19）的出口阀（10，14）。

4.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述第一截止阀（4）和第二截止阀（18）之间安装有第三截止阀（3）。

5.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述第一调压阀（8）前端依次连接初级吹扫阀（6）和初级文丘里（5）吸入口。

6.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述第一调压阀（8）后端和第二调压阀（17）后端依次连接次级吹扫阀（11，12）和次级文丘里（16）吸入口。

7.如权利要求1所述的一种防止调压阀结霜的高纯NF3供应管路，其特征在于：所述初级文丘里（5）的排气口和次级文丘里（16）的排气口接入气体吸附器（7，15）。