[发明专利]压力传感器和制备方法、压力感应方法以及显示装置有效
申请号: | 201810494408.7 | 申请日: | 2018-05-22 |
公开(公告)号: | CN108760111B | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 彭锐;万想;叶志杰;胡月 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/24 | 分类号: | G01L1/24;G01L11/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 赵天月 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 制备 方法 压力 感应 以及 显示装置 | ||
本发明公开了压力传感器和制备方法、压力感应方法以及显示装置。该压力传感器包括:衬底;第一电极;多个支撑部,多个支撑部设置在第一电极远离衬底的一侧,且覆盖第一电极的部分表面;弹性复合电极,弹性复合电极设置在支撑部远离第一电极的一侧,弹性复合电极、多个支撑部以及第一电极之间限定出可压缩空间,弹性复合电极以及第一电极之间通过支撑部以及可压缩空间绝缘;第二电极,第二电极设置在弹性复合电极远离第一电极的一侧;以及有机发光层,有机发光层设置在第一电极以及第二电极之间,并与第一电极以及第二电极之中的一个相接触。由此,该压力传感器具有功耗低、响应快、灵敏度高等优点。
技术领域
本发明涉及显示领域,具体地,涉及压力传感器和制备方法、压力感应方法以及显示装置。
背景技术
压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。
然而,目前的压力传感器及压力感应方法仍有待改进。
发明内容
本发明是基于发明人对于以下事实和问题的发现和认识作出的:
目前,压力传感器多为力学传感器,例如:压阻式压力传感器、电容式压力传感器。上述压力传感器通过将压力信号转换为电信号,来实现对压力大小的检测。本发明旨在提出一种新型的压力传感器,将有机电致发光器件与弹性复合电极结合,利用有机电致发光器件的发光情况与受力的关系,实现压力的检测,并利用弹性复合电极中弹性层的恢复,可以重复利用,达到传感的作用。
在本发明的一个方面,本发明提出了一种压力传感器。该压力传感器包括:衬底;第一电极;多个支撑部,所述多个支撑部设置在所述第一电极远离所述衬底的一侧,且覆盖所述第一电极的部分表面;弹性复合电极,所述弹性复合电极设置在所述支撑部远离所述第一电极的一侧,所述弹性复合电极、多个所述支撑部以及所述第一电极之间限定出可压缩空间,所述弹性复合电极以及所述第一电极之间通过所述支撑部以及所述可压缩空间绝缘;第二电极,所述第二电极设置在所述弹性复合电极远离所述第一电极的一侧;以及有机发光层,所述有机发光层设置在所述第一电极以及所述第二电极之间,并与所述第一电极以及所述第二电极之中的一个相接触。由此,该压力传感器具有功耗低、响应快、灵敏度高等优点。
根据本发明的实施例,所述弹性复合电极包括:导电亚层,所述导电亚层设置在所述支撑部远离所述衬底的一侧;导电弹性亚层,所述导电弹性亚层设置在所述导电亚层远离所述支撑部的一侧,所述导电弹性亚层为面状结构。导电亚层可以增强弹性复合电极的导电性,导电弹性亚层在一定变形情况下导电性能不会发生显著变化,可以增强压力传感器的可变形程度,保证压力传感器发生变形之后可以回弹至未受压的状态,保证压力传感器可以重复利用。
根据本发明的实施例,所述导电弹性亚层在所述衬底上的正投影,覆盖所述衬底上与所述可压缩空间相对应的区域。由此,可以实现压力传感检测。
根据本发明的实施例,所述有机发光层在所述衬底上的正投影,与所述衬底上与所述可压缩空间相对应的区域之间具有交叠区域。由此,可以实现压力传感检测。
根据本发明的实施例,所述支撑部所在的区域与所述导电亚层所在的区域一一对应。由此,可以简便的在支撑部上形成导电亚层。
根据本发明的实施例,所述导电亚层在所述衬底上的正投影位于所述支撑部在所述衬底上的正投影区域之内。导电亚层设置在支撑部之内,由此,可以利用支撑部支撑导电亚层,为弹性复合电极变形提供更大的可压缩空间。
根据本发明的实施例,所述导电亚层进一步包括:第一金属层,所述第一金属层靠近所述支撑部设置;第二金属层,所述第二金属层设置在所述第一金属层远离所述支撑部的一侧。由此,可以保证导电亚层具有良好的导电性能。
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