[发明专利]一种光学真空镀膜机内腔清洁方法在审
| 申请号： | 201810495558.X | 申请日： | 2018-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN108517494A | 公开（公告）日： | 2018-09-11 |
| 发明（设计）人： | 柳一民;王静辉 | 申请（专利权）人： | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23G1/02;B08B1/00 |
| 代理公司： | 合肥顺超知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34120 | 代理人： | 黄晶晶 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市雨山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学真空镀膜机 夹具 内腔 镀膜 清洁 残留 超声波机器 惰性气体 光学元件 去离子水 使用寿命 双重结合 一次冲洗 真空镀膜 震荡清洗 蒸发干燥 重新安装 腐蚀剂 钢丝刷 放入 热风 水中 冲刷 冲洗 离子 清洗 流动 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)用钢丝刷清除光学真空镀膜机内腔及夹具上的残留镀膜；
(2)使用腐蚀剂对光学真空镀膜机内腔及夹具冲刷30-40min；
(3)持续用去离子水一次冲洗10-20min后，在去离子水中通入惰性气体，升温后继续二次冲洗40-50min；
(4)将夹具放入超声波机器中，升温后震荡清洗10-20min；
(5)待光学真空镀膜机内腔及夹具通过流动的热风蒸发干燥后重新安装回系统内，结束清洗工作。
2.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，步骤(2)中所述腐蚀剂为磷酸稀释液、硝酸稀释液中的任意一种。
3.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，步骤(3)所述惰性气体为氮气。
4.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，步骤(3)中所述升温为升高温度至30-40℃。
5.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，步骤(5)中所述升温为升高温度至40-50℃。
6.如权利要求1所述的光学真空镀膜机内腔清洁方法，其特征在于，步骤(5)中所述热风的温度为100-120℃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于桑尼光电技术（安徽）有限公司，未经桑尼光电技术（安徽）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810495558.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
