[发明专利]一种多功能高效倒片机

说明书

本发明公开了一种多功能高效倒片机，包括机架、片盒平台、执行器、升降运动直线模组、左右运动直线模组、前后运动直线模组和控制模块；控制模块用于控制升降运动直线模组、左右运动直线模组和前后运动直线模组运动；前后运动直线模组以及左右运动直线模组分别与机架相固定连接；升降运动直线模组与前后运动直线模组相固定连接；片盒平台与左右运动直线模组相固定连接；片盒平台上沿左右运动直线模组运动方向设有两个供片盒定位的工位；还包括用于检测晶圆片是否突出片盒的突出检测模块、用于检测片盒内装片是否异常的装片异常检测模块以及用于检测片盒是否为空盒的自反射传感器；本发明的优点在于，自动化程度高，具有多功能，倒片效率高。

技术领域

本发明涉及晶圆片生产辅助装置技术领域，具体涉及一种多功能高效倒片机。

背景技术

在半导体行业中，晶圆片体在做不同工艺前后会更换承载晶圆的片盒，倒片机是一种用于将晶圆片从一个片盒内转载至另一个片盒内的设备，便于进行后面的加工工序。

片盒内片层间隙较小，并且层数很多，逐层倒片效率太低，并且也容易出现斜片，叠片等异常放置问题；逐层倒片，或手动一体式倒片，无法做到自动化和智能化识别，存在效率低下的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种多功能高效倒片机，用以改善现有逐层倒片效率低、倒片不规整的问题。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：

一种倒片机，包括机架，还包括片盒平台、执行器、升降运动直线模组、左右运动直线模组、前后运动直线模组和控制模块；

升降运动直线模组、左右运动直线模组以及前后运动直线模组分别与控制模块之间建立通信连接，控制模块用于控制升降运动直线模组、左右运动直线模组和前后运动直线模组运动；

前后运动直线模组以及左右运动直线模组分别与机架相固定连接；

升降运动直线模组与前后运动直线模组相固定连接；

片盒平台与左右运动直线模组相固定连接；

执行器与升降运动直线模组相固定连接；

片盒平台上沿左右运动直线模组运动方向设有两个供片盒定位的工位。

本发明进一步设置为：所述执行器上固定连接有至少两层夹持末端。

本发明进一步设置为：倒片机还包括突出检测模块，突出检测模块包括片子突出检测传感器发射端和片子突出检测传感器接收端；

片子突出检测传感器发射端具有两个且分别位于所述片盒平台的两个工位上；

片子突出检测传感器接收端与机架相固定连接且位于片子突出检测传感器发射端的正上方；

片盒内的晶圆片突出片盒后可遮挡在片子突出检测传感器发射端和片子突出检测传感器接收端之间。

本发明进一步设置为：倒片机还包括装片异常检测模块，装片异常检测模块包括提升机构和传感器检测头，传感器检测头与提升机构相连接，提升机构用于带动传感器检测头竖直运动以对片盒内的晶圆片逐个扫描检测。

本发明进一步设置为：所述提升机构包括导向柱、连接板、传感器安装杆、从动轮、主动轮、同步带和电机；

导向柱与机架相竖直固定连接，连接板与导向柱相竖直滑动连接，传感器安装杆竖直固定连接在连接板上面；

主动轮与电机的输出轴相固定连接，从动轮位于主动轮的正上方且与机架相转动连接，同步带传动缠绕在主动轮和从动轮上；

同步带与连接板相固定连接。