[发明专利]高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭有效
申请号: | 201810495709.1 | 申请日: | 2018-05-22 |
公开(公告)号: | CN108505112B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 王坤;刘志强;潘家明;潘明翠;王丙宽 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 米文智 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高效 多晶 制备 方法 | ||
本发明适用于光伏电池技术领域,提供了高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭,该方法包括:在坩埚内表面涂覆第一隔离层;在所述坩埚底面涂覆的第一隔离层的上表面涂覆反应层;在所述坩埚底面涂覆的反应层的上表面涂覆第二隔离层;在涂覆第二隔离层后的坩埚内放入多晶硅原料,并将坩埚放置于铸锭炉中,将所述铸锭炉抽真空;将所述铸锭炉加热至第一预设温度,使所述多晶硅原料全部熔化,形成硅液;利用所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结;利用所述异质结对硅液进行结晶处理,生长成高效多晶硅锭。本发明能够降低工艺难度,节省化料时间。
技术领域
本发明属于光伏电池技术领域,尤其涉及一种高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭。
背景技术
高效多晶硅锭具有位错密度低、晶界结构规则和晶粒分布均匀等优点,是制备光伏电池的常用材料。目前,制备高效多晶硅锭的常用方法是在坩埚底部铺设碎硅料,然后将多晶硅原料放入坩埚内,在化料时,控制坩埚内多晶硅原料全部熔化,碎硅料部分熔化,未熔化的碎硅料作为籽晶,从籽晶处开始形核长晶,最后得到高质量硅锭。但是,这种方法由于需要保证多晶硅原料全部熔化时,碎硅料部分熔化,在制备过程中难以控制碎硅料的熔化状态,工艺难度高。
发明内容
有鉴于此,本发明实施例提供了一种高效多晶硅锭的制备方法及高效多晶硅锭,以解决现有技术中制备高效多晶硅锭时难以控制碎硅料的熔化状态,工艺难度高的问题。
本发明实施例第一方面提供了一种高效多晶硅锭的制备方法,包括:
在坩埚内表面涂覆第一隔离层,所述第一隔离层的材质包括氮化硅和纯水;
在涂覆第一隔离层的坩埚底面的上表面涂覆反应层,所述反应层的材质包括二氧化硅和纯水;
在涂覆反应层的坩埚底面的上表面涂覆第二隔离层,所述第二隔离层的材质包括氮化硅和纯水;
在涂覆第二隔离层后的坩埚内放入多晶硅原料,并将所述坩埚放置于铸锭炉中,将所述铸锭炉抽真空;
将所述铸锭炉加热至第一预设温度,使所述多晶硅原料全部熔化,形成硅液;
利用所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结;
利用所述异质结对硅液进行结晶处理,生长成高效多晶硅锭。
可选的,所述利用所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结,包括:
将所述铸锭炉的温度降低至第二预设温度,所述反应层中的二氧化硅与渗透所述第二隔离层的硅液,在所述坩埚底部形成异质结。
可选的,所述利用所述异质结对硅液进行结晶处理,生长成高效多晶硅锭,包括:
将所述铸锭炉的温度降低至第三预设温度,并将散热窗口的开度设为第一预设值,在所述坩埚底部形成过冷状态,硅液在所述异质结的基础上长晶,在所述坩埚底部生长成晶粒;
将所述铸锭炉的温度降低至第四预设温度,并将所述铸锭炉的散热窗口开度设置为第二预设值,硅液在所述的晶粒的基础上开始长晶;
长晶完成后经退火和冷却后形成高效多晶硅锭。
可选的,还包括:
对涂覆反应层后的坩埚进行烧结;
所述在涂覆反应层的坩埚底面的上表面涂覆第二隔离层,包括:
在烧结后的坩埚底面的上表面涂覆第二隔离层。
可选的,所述第一隔离层中氮化硅的纯度大于99.9%;所述第一隔离层中氮化硅和纯水的质量比为1:1.5至1:4;
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