[发明专利]用于腔室的门装置

权利要求书

1.一种用于腔室的门装置，包括：

一对导轨，设置在所述腔室的入口侧；

支架，沿着所述一对导轨可移动地设置；

门，安装在所述支架上以定位在所述腔室的入口侧和所述支架之间；

第一驱动部件，设置成沿着所述一对导轨移动所述支架；以及

第二驱动部件，设置成相对于所述支架移动所述门，以用于将所述门按压到入口或者将所述门从所述入口分离，其中所述门通过所述第一驱动部件定位在所述入口的前方。

2.根据权利要求1所述的用于腔室的门装置，其特征在于，所述第二驱动部件包括：

第二驱动马达，正向或反向旋转；

轴，用于传递由所述第二驱动马达产生的旋转力；以及

圆柱齿轮箱，用于连接所述门和所述支撑板，以及通过使用所述轴的旋转力使所述门相对于支架向前移动到所述入口侧和从所述入口侧向后移动。

3.根据权利要求2所述的用于腔室的门装置，其特征在于，所述圆柱齿轮箱包括：

第一旋转轴，旋转动力输入到所述第一旋转轴；

圆柱部件，通过所述第一旋转轴的旋转动力向前/向后移动，以及

第二旋转轴，凸出在不同于所述第一旋转轴的方向上且通过所述第一旋转轴的旋转动力而旋转。

4.根据权利要求3所述的用于腔室的门装置，其特征在于，

所述圆柱齿轮箱包括第一至第四圆柱齿轮箱，分别安装在所述门的上部区域左/右侧及下部区域左/右侧，

设置在上部区域左/右侧的第一和第二圆柱齿轮箱各自通过所述轴与所述第二驱动马达连接，

设置在下部区域左侧的所述第三圆柱齿轮箱通过所述轴与所述第一圆柱齿轮箱连接，以及设置在下部区域右侧的所述第四圆柱齿轮箱通过所述轴与所述第二圆柱齿轮箱连接，

所述第三和第四圆柱齿轮箱通过所述轴连接，以及

所述第一至第四圆柱齿轮箱设置成以便取决于所述第二驱动马达的旋转同时移动所述门。

5.根据权利要求1所述的用于腔室的门装置，其特征在于，所述第一驱动部件包括：

第一驱动马达，正向或反向旋转；

滚珠丝杠轴，与所述第一驱动马达的旋转轴连接；以及

滚珠丝杠螺母，取决于所述滚珠丝杠轴的旋转在所述滚珠丝杠轴的纵向上往复运动，以及

所述滚珠丝杠螺母安装在所述支架上。

6.根据权利要求1所述的用于腔室的门装置，其特征在于，所述支架设置有多个滚筒，每个滚筒能够沿着所述导轨行进。

7.根据权利要求1所述的用于腔室的门装置，其特征在于，在所述支架和所述门之间设置有滚珠衬套。