[发明专利]真空干燥及溶剂回收装置

说明书

本发明提供一种真空干燥及溶剂回收装置，包括用于使IJP墨水中的溶剂挥发而对IJP墨水进行干燥的真空干燥系统及用于将从IJP墨水挥发出的溶剂进行回收的溶剂回收系统，通过在真空干燥系统外集成搭接一套溶剂回收系统，并在溶剂回收系统内设置多个溶剂回收腔，针对不同体系的溶剂冷凝回收，能够实现IJP墨水中溶剂的循环利用，降低生产成本。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种真空干燥及溶剂回收装置。

背景技术

有机电致发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)以其自发光、全固态、高对比度等优点，成为近年来最具潜力的新型显示器件。OLED显示装置具有驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。

OLED器件通常包括：基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。OLED器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光。具体的，OLED器件通常采用ITO像素电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，后者经过辐射弛豫而发出可见光。

目前，OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜均通过真空热蒸镀工艺制备，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属掩膜板(Mask)的开孔沉积在玻璃基板上。但由于真空热蒸发工艺材料利用率低、制备成本高及成膜均匀性较差的缺点一直缺少有效的解决方案，限制了OLED显示器的大范围商业化。溶液法制备OLED薄膜，以其材料利用率高，设备造价低等优点，显示出明显的优势。而溶液法制程包括旋涂、印刷、打印等方式，其中将含有OLED功能材料的墨水(ink)以微小液滴的方式滴落在预定位置，然后将溶剂蒸发去除，只留下溶质(OLED功能材料)形成薄膜的方法简称为喷墨打印法(Ink-jet Print，IJP)，是目前最适用于目前OLED发光器件的制程，相比于传统的真空蒸镀工艺，具有节省材料、制程条件温和、成膜更均匀等诸多优点，所以更具应用潜力。

目前去除Ink中溶剂组分的通用方法是将基板置于真空腔，使溶剂在负压下快速挥发，然后将含溶剂的尾气作为废气处理。为了配合打印头的精度要求，IJP所用的溶剂对沸点、黏度、表面张力、与溶质兼容性等均有较高的要求，溶剂成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空干燥及溶剂回收装置，在真空干燥系统外集成搭接溶剂回收系统，将在真空腔内挥发出的溶剂蒸汽冷凝回收，循环利用，以降低生产成本。

为实现上述目的，本发明提供了一种真空干燥及溶剂回收装置，包括用于使IJP墨水中的溶剂挥发而对IJP墨水进行干燥的真空干燥系统及用于将从IJP墨水挥发出的溶剂进行回收的溶剂回收系统；

所述真空干燥系统包括真空腔体、与真空腔体相连的真空排气泵组；

所述溶剂回收系统包括多个溶剂回收腔、与多个溶剂回收腔相连接的尾气处理单元及用于将所述真空排气泵组与所述多个溶剂回收腔和尾气处理单元中的一个进行选择性导通的阀门切换单元；