[发明专利]颗粒物检测装置及颗粒物检测方法

权利要求书

1.一种颗粒物检测装置，其特征在于，包括：

颗粒物分析仪，用于分析气体中的颗粒物信息；

采样管道，包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端用于与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端用于与所述颗粒物分析仪连通；

所述采样管道用于将所述半导体处理腔室中的气体传输至所述颗粒物分析仪。

2.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的空气；

所述采样管道的第一端用于与所述备用排气口连通。

3.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，还包括排气管道；

所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的空气；

所述排气管道的一端用于与所述标准排气口连通、另一端用于连通真空泵；所述排气管道上具有一采样口，所述采样管道的第一端用于与所述采样口连通。

4.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，还包括阀门；所述阀门，设置于所述采样管道中，用于控制所述半导体处理腔室与所述颗粒物分析仪是否导通。

5.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，还包括上位机；所述颗粒物分析仪，包括分析腔和控制器；

所述分析腔，用于对所述采样管道传输的气体中的颗粒物进行分析；

所述控制器，连接所述分析腔，用于将所述分析腔分析得到颗粒物信息传输至所述上位机。

6.根据权利要求1所述的颗粒物检测装置，其特征在于，所述颗粒物信息包括颗粒物粒径和颗粒物浓度。

7.一种颗粒物检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

提供一采样管道，所述采样管道包括相对设置的第一端和第二端；所述第一端与半导体处理腔室的排气口连通，所述第二端与颗粒物分析仪连通；

所述颗粒物分析仪用于分析气体中的颗粒物信息；

获取采样气体，所述采样气体是自所述半导体处理腔室经所述采样管道传输至所述颗粒物分析仪的；

分析所述采样气体中的颗粒物信息。

8.根据权利要求7所述的颗粒物检测方法，其特征在于，所述半导体处理腔室的排气口包括标准排气口和备用排气口，所述标准排气口用于排除所述半导体处理腔室中的气体；所述第一端与半导体处理腔室的排气口连通的具体步骤包括：

连通所述第一端与所述备用排气口。

9.根据权利要求7所述的颗粒物检测方法，其特征在于，所述颗粒物分析仪包括用于分析采样气体的分析腔；获取采样气体之前还包括如下步骤：

排除所述分析腔内的气体。

10.根据权利要求7所述的颗粒物检测方法，其特征在于，获取采样气体之前还包括如下步骤：

提供一阀门，所述阀门安装于所述采样管道中；

判断是否接收到开启所述阀门的指令，若是，则控制所述阀门开启，导通所述半导体处理腔室与所述颗粒物分析仪。

11.根据权利要求10所述的颗粒物检测方法，其特征在于，还包括如下步骤：设置采样间隔，根据所述采样间隔发出开启所述阀门的指令。

12.根据权利要求7所述的颗粒物检测方法，其特征在于，分析所述采样气体中的颗粒物信息之后还包括如下步骤：

传输所述颗粒物信息至上位机。

13.根据权利要求7所述的颗粒物检测方法，其特征在于，所述颗粒物信息包括颗粒物粒径和颗粒物浓度。