[发明专利]控制器调整系统以及调整方法

说明书

本发明涉及控制器调整系统以及调整方法，求出区之间的干扰强度，在加热装置的实际工作时使工件的表面温度均匀。调整装置(7)具备：目标值设定部(75)，其将全部的区的目标值设定为相同值；补偿设定部(70)和干扰强度计算部(71)，其在第1区的控制量中增加临时补偿，基于在施加临时补偿之后针对第2区从控制器(3)输出的操作量以及在施加临时补偿之前针对第2区从控制器(3)输出的操作量，计算第1区对第2区造成的干扰的强度；以及补偿计算部(72)和补偿设定部(73)，其从干扰的强度大的区起依次进行基于位于与对象区相对应的位置的工件传感器(4)的温度传感器的测定值和目标值而计算对象区的补偿并设定到控制器(3)的处理。

技术领域

本发明涉及一种在控制回路间发生干扰的多输入输出控制系统中的控制器的调整系统以及调整方法。

背景技术

一直以来，在用加热装置处理工件的情况下，将加热装置的内部分成多个加热区，针对每个加热区进行温度控制。例如在将如层压涂膜那样的平面状的工件设为对象的情况下，根据工件的大小，需要设置多个加热区，但在邻接的加热区发生温度干扰那样的状态量干扰，所以，难以使工件的表面温度均匀。但是，在层压涂膜的情况下，如果存在温度不均，则存在膜的品质降低这样的问题。

作为使工件的表面温度均匀的方法，考虑如下这样的方法(参照专利文献1)：如图15所示，在具备由对工件进行加热的多个电热体(加热器、珀尔帖元件等)100-1～100-9构成的电热单元101以及控制电热单元101的控制器102的加热装置中，使用在与由电热体100-1～100-9分别加热的区Z1～Z9对应的工件表面的各区域设置有高精度的温度传感器104-1～104-9的带温度传感器的工件(下面称为工件传感器)103来进行加热试验，测定各区Z1～Z9的工件表面温度，基于该测定结果，对控制器102的控制量提供补偿，从而使工件的表面温度均匀。

在控制器的补偿调整的过程中，需要将区之间的干扰度导出。然而，在专利文献1所公开的温度控制装置中，未公开区之间的干扰度的导出方法，存在无法实现用于使工件的表面温度均匀的控制器的调整方法这样的问题点。

此外，以上的问题点不限于加热装置，在冷却装置中也同样产生。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-59371号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明是为了解决上述技术问题而完成的，其目的在于，提供一种能够求出区之间的干扰强度、并且在加热装置的实际工作时或者冷却装置的实际工作时能够使工件的表面温度均匀的控制器调整系统以及调整方法。

解决技术问题的技术手段