[发明专利]狭缝涂布装置有效

专利信息
申请号: 201810502027.9 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN108405266B 公开(公告)日: 2020-01-31
发明(设计)人: 但清华 申请(专利权)人: 武汉华星光电技术有限公司
主分类号: B05C5/02 分类号: B05C5/02;B05C11/10
代理公司: 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 代理人: 林才桂;王中华
地址: 430070 湖北省武汉市*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 喷嘴 狭缝涂布 喷嘴升降机构 电性连接 喷嘴清理 生产效率 停机 载台 制程 升降 选中 维护
【权利要求书】:

1.一种狭缝涂布装置,其特征在于,包括:载台(10)、设于所述载台上方的第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)、与所述第一喷嘴(20)及第二喷嘴(30)相连的喷嘴升降机构(40)以及与所述喷嘴升降机构(40)电性连接的控制单元(50);

所述控制单元(50)能控制所述喷嘴升降机构(40)对所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)进行升降,以选中所述第一喷嘴(20)或第二喷嘴(30)进行狭缝涂布;

所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中均形成有用于吐出涂布材料的狭缝(301);

还包括:缝隙调整机构(100),所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)上均设有一缝隙调整机构(100),所述缝隙调整机构(100)用于调整所述狭缝(301)的缝隙大小;

所述缝隙调整机构(100)包括:调整壁(51)、多个间隔排列的调整柱(52)以及与所述多个调整柱(52)均相连的调整驱动器(53),所述调整壁(51)与所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁相对设置,所述调整柱(52)连接所述调整壁(51)与所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁,通过调整驱动器(53)控制所述调整柱(52)施加至所述第一喷嘴(20)的侧壁或第二喷嘴(30)的侧壁上的力的大小控制所述第一喷嘴(20)或第二喷嘴(30)中的狭缝(301)的缝隙大小;

所述喷嘴升降机构(40)包括:升降轨道(41)及升降驱动器(42),所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)分别安装于所述升降轨道(41)的两侧,所述升降驱动器(42)与第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)相连以带动所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)沿所述升降轨道(41)升降,所述升降驱动器(42)与所述控制单元(50)电性连接。

2.如权利要求1所述的狭缝涂布装置,其特征在于,还包括:第一进料泵(61)和第二进料泵(62);

所述第一进料泵(61)与所述第一喷嘴(20)相连,用于向所述第一喷嘴(20)提供涂布材料;

所述第二进料泵(62)与所述第二喷嘴(30)相连,用于向所述第二喷嘴(30)提供涂布材料。

3.如权利要求2所述的狭缝涂布装置,其特征在于,所述第一喷嘴(20)上设有间隔排列的第一主注入口(71)、第一副注入口(72)以及第一气泡排出口(73);

所述第二喷嘴(30)上设有间隔排列的第二主注入口(81)、第二副注入口(82)以及第二气泡排出口(83);

所述第一进料泵(61)与所述第一主注入口(71)和第一副注入口(72)相连,所述第二进料泵(62)与第二主注入口(81)和第二副注入口(82)相连。

4.如权利要求1所述的狭缝涂布装置,其特征在于,所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)均包括:左喷嘴分体(91)以及与所述左喷嘴分体(91)相对设置并固定连接的右喷嘴分体(92),所述狭缝(301)形成于左喷嘴分体(91)与右喷嘴分体(92)之间。

5.如权利要求1所述的狭缝涂布装置,其特征在于,所述控制单元(50)控制所述喷嘴升降机构(40)将所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中进行狭缝涂布的一个降下,所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)中未进行狭缝涂布的一个升起。

6.如权利要求1所述的狭缝涂布装置,其特征在于,所述控制单元(50)还用于设置第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)升降的高度,所述喷嘴升降机构(40)根据所述控制单元(50)的设置将所述第一喷嘴(20)和第二喷嘴(30)升降至对应的高度。

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