[发明专利]一种激光光束准直的判断方法及采用该方法的剪切干涉仪

权利要求书

1.一种激光光束准直的判断方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.将待测光束的光轴指向分束立方体，所述分束立方体将所述待测光束分割且形成干涉后透射到成像设备，使成像设备采集到干涉光斑；

S2.改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面对所述待测光束的剪切量；

S3.观察所述成像设备中所述干涉光斑是否旋转，若所述干涉光斑不旋转则所述待测光束准直，若所述干涉光斑旋转则所述待测光束发散；

所述步骤S1包括：

S11.所述待测光束被所述第一入射面和所述第二入射面折射后分割为第一入射光和第二入射光；

S12.所述第一入射光和所述第二入射光分别指向分束面的相对两个表面；所述第一入射光被分束面折射和反射后分离为第一折射光和第一反射光；所述第二入射光被分束面折射和反射后分离为第二折射光和第二反射光；

S13.所述第一折射光与所述第二反射光交汇在第二出射面后折射至成像设备；所述第一反射光与所述第二折射光交汇在第一出射面后折射至成像设备；

所述分束立方体包括第一直角棱镜和第二直角棱镜；第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面彼此贴合构成分束面；第一直角棱镜的第一入射面与其斜面的公共边为第一侧楞，第二直角棱镜的第二入射面与其斜面的公共边为第二侧楞，所述第一侧楞与所述第二侧楞相交构成楔形夹角。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中改变所述分束立方体的第一入射面与第二入射面的剪切量具体包括：

S21.沿水平方向平移所述分束立方体，改变所述待测光束在所述第一入射面与所述第二入射面上的照射面积。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述光轴与所述分束面平行且具有间距。

4.一种剪切干涉仪，包括分束立方体以及与所述分束立方体光路连接的成像设备，其特征在于，还包括支撑所述分束立方体的调控支架；所述分束立方体包括第一直角棱镜和第二直角棱镜；第一直角棱镜的斜面和第二直角棱镜的斜面彼此贴合构成分束面；第一直角棱镜的入光面与其斜面的公共边为第一侧楞，第二直角棱镜的入光面与其斜面的公共边为第二侧楞，所述第一侧楞与所述第二侧楞相交构成楔形夹角，所述分束立方体的姿态由所述调控支架控制；

所述第一直角棱镜和第二直角棱镜的斜面之间设置有分束涂层，所述分束涂层的折射反射比设置为1：1。

5.根据权利要求4所述的剪切干涉仪，其特征在于，所述调控支架包括三维倾斜模块和三维移动模块。

6.根据权利要求4所述的剪切干涉仪，其特征在于，所述第一直角棱镜的入光面与出光面设置有抗反射涂层；所述第二直角棱镜的入光面与出光面设置有抗反射涂层。

7.根据权利要求6所述的剪切干涉仪，其特征在于，还包括设置在光源与所述分束立方体的光路之间的滤镜。

8.根据权利要求4所述的剪切干涉仪，其特征在于，所述成像设备包括ccd成像器与显示器；所述显示器与所述ccd成像器电连接并显示其上的干涉图像。