[发明专利]一种低硼纯晶硅在审

专利信息
申请号: 201810502251.8 申请日: 2018-05-23
公开(公告)号: CN108441952A 公开(公告)日: 2018-08-24
发明(设计)人: 豆衍林;孔德仓;豆旭东;豆中宝;瞿朝柱;豆鹏寿;豆巨鹏 申请(专利权)人: 甘肃金土新能源材料科技有限公司;永靖县申通耐磨材料有限公司
主分类号: C30B29/06 分类号: C30B29/06;C30B28/04
代理公司: 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 代理人: 张华芳
地址: 731600 甘肃省*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要:
搜索关键词: 晶硅 低硼 二氧化硅 太阳能级 冶炼 碳化硅 碳原料 改良西门子法 化学法生产 环境效益 西门子法 硅烷法 物理法 脱硼 替代
【权利要求书】:

1.一种低硼纯晶硅,是由以下步骤制得:

a.将碳原料与二氧化硅混合,在1500-2700℃的温度下进行第一次冶炼制得碳化硅;

b.将a步骤制得的碳化硅再次与二氧化硅混合,在1500-2700℃的温度下进行第二次冶炼,制得低硼纯晶硅。

2.根据权利要求1所述的一种低硼纯晶硅,其特征在于:所述的a步骤中碳原料与二氧化硅质量比为1:1-5进行混合。

3.根据权利要求1所述的一种低硼纯晶硅,其特征在于:所述的b步骤中碳化硅与二氧化硅质量比为1:0.6-1进行混合。

4.根据权利要求1所述的一种低硼纯晶硅,其特征在于:碳原料中硼含量小于0.2ppm;二氧化硅中硼含量小于0.14ppm。

5.根据权利要求1所述的一种低硼纯晶硅,其特征在于:所述第一次冶炼是在碳化硅炉中进行。

6.根据权利妥求1所述的一种低硼纯晶硅,其特征在于,所述第二次冶炼是在高频炉或中频炉中的一种中进行。

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