[发明专利]一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法

权利要求书

1.一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）在玻璃培养皿里，用聚二甲基硅氧烷原液制备聚二甲基硅氧烷基底；加热固化后，在聚二甲基硅氧烷基底中央切割孔槽，制得聚二甲基硅氧烷基底；

2）在玻璃衬底上，以1000-8000 rpm/60s的速度，旋涂一层聚二甲基硅氧烷薄膜，进行固化后，在聚二甲基硅氧烷薄膜中央切割凹槽，所述凹槽面积小于孔槽，凹槽的深度小于聚二甲基硅氧烷薄膜厚度，制得聚二甲基硅氧烷薄膜；

3）将聚二甲基硅氧烷薄膜浸泡在氯金酸溶液中20-24小时；清洗聚二甲基硅氧烷薄膜表面，在其表面旋涂光刻胶并进行选择性曝光；

4）将曝光后的聚二甲基硅氧烷薄膜从玻璃衬底上剥离，转移到聚二甲基硅氧烷基底上，粘合，固化，并将其切割成十字悬臂梁形状，制得聚二甲基硅氧烷薄膜基底；粘合所用粘合剂为固化的聚二甲基硅氧烷；

5）将聚二甲基硅氧烷薄膜基底浸泡在氯金酸、碳酸氢钾、葡萄糖混合而成的还原液中，对聚二甲基硅氧烷薄膜基底进行还原沉淀纳米金；

所述还原液由质量分数分别为1%的氯金酸溶液、20%的碳酸氢钾溶液和2%的葡萄糖溶液按体积比2-4:1-2:1-2混合而成；

6）剥离光刻胶；

7）划片、封装、测试，制得传感器。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜式悬臂梁表面应力生物传感器的制造方法，其特征在于，所述孔槽可以是方形、圆形、螺纹形。