[发明专利]硅芯方锭铸锭炉热场结构在审
申请号: | 201810506442.1 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN108486650A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 刘德胜;陆燕娜;贺鹏飞 | 申请(专利权)人: | 江阴东升新能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
地址: | 214426 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 外侧设置 坩埚 加热器 热场结构 保温层 铸锭炉 方锭 硅芯 石墨块 多晶硅铸锭 温度梯度场 下侧加热器 定向结晶 凝固过程 有效控制 定位块 散热 顶层 硅料 炉体 加热 | ||
1.一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:它包括石墨块(1),所述石墨块(1)上设置有定向导气块(2),所述定向导气块(2)上设置有坩埚(4),所述坩埚(4)外侧设置有定位块(3),所述坩埚(4)外侧设置有加热器(5),所述加热器(5)外侧设置有保温层(6),所述保温层(6)外侧设置有炉体(7)。
2.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述定向导气块(2)包括导气块本体(21),所述导气块本体(21)背面左右两侧分别设置有进气口(22)和出气口(23),所述进气口(22)右侧沿竖直方向开设有贯穿整个定向导气块(2)的第一导气孔(24),所述进气口(22)和出气口(23)之间沿竖直方向开设有前后两个贯穿整个定向导气块(2)的第二导气孔(25),所述进气口(22)与第一导气孔(24)下端之间通过进气导槽(26)相连通,所述出气口(23)沿水平方向向右开设有出气导槽(27),所述出气导槽(27)与前后两个第二导气孔(25)下端之间通过连接导槽(28)相连通,所述第一导气孔(25)上端沿水平方向向左开设有第一冷却槽(29),所述第一冷却槽(29)延伸至靠近第二通孔(25)位置处,两个第二导气孔(25)上端沿水平方向向左均开设有第二冷却槽(210),所述第二冷却槽(210)延伸至靠近导气块本体(21)左侧面位置处,所述第一冷却槽(29)前后两侧沿水平方向分别开设有第三冷却槽(211),所述第三冷却槽(211)外侧设置有第四冷却槽(212),所述第三冷却槽(211)左端与第一冷却槽(29)左端相连通,所述第三冷却槽(211)右端与第四冷却槽(212)右端相连通,所述第四冷却槽(212)左端与第二冷却槽(210)左端相连通。
3.根据权利要求2所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述导气块本体(21)上设置有前后两排固定安装孔(213)。
4.根据权利要求2所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述导气块本体(21)背面设置有四个定位孔(214)。
5.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述定位块(3)采用柔性耐高温材料。
6.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述定位块(3)的高度不低于坩埚(4)高度的1/3。
7.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述加热器(5)包括支撑架(51),所述支撑架(51)固定设置于石墨块(1)四侧,所述支撑架(51)上设置有下侧加热器(52),所述下侧加热器(52)上方设置有上侧加热器(53),所述上侧加热器(53)顶部设置有顶层加热器(54)。
8.根据权利要求4所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述下侧加热器(52)和上侧加热器(53)之间形成散热通道(55)。
9.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述保温层(6)包括顶层保温层(61),所述顶层保温层(61)四周设置有侧保温层(62)。
10.根据权利要求1所述的一种硅芯方锭铸锭炉热场结构,其特征在于:所述保温层(6)的材料采用碳纤维材料。
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