[发明专利]基于电子动态调控的二氧化钛表面周期结构加工方法在审
| 申请号： | 201810506913.9 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108788472A | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 姜澜;高彬;乔明;闫剑锋 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | B23K26/354 | 分类号： | B23K26/354;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二氧化钛表面 电子动态 飞秒激光脉冲 飞秒激光 微纳结构 周期结构 制备 调控 二氧化钛光催化剂 透镜 二氧化钛 激光聚焦 脉冲序列 单脉冲 能量比 透镜组 亚波长 子脉冲 脉冲 均一 可调 可控 入射 时域 调制 加工 聚焦 | ||
1.一种基于电子动态调控的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：通过以下步骤实现：
步骤一，设计脉冲序列：将飞秒激光的单脉冲在时域上调制为包含两个到三个子脉冲的飞秒激光脉冲序列，相邻子脉冲之间的能量比可调且时间间隔调节范围在0～1ps之间；
步骤二，把步骤一所述飞秒激光脉冲序列通过透镜或透镜组聚焦到二氧化钛表面，通过控制入射到二氧化钛表面的脉冲序列的个数N为100～1000，并控制激光聚焦点和二氧化钛的相对运动，在二氧化钛表面形成亚波长的周期性微纳结构。
2.根据权利要求1所述的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：步骤一中，将飞秒激光的单脉冲在时域上调制为含有两个子脉冲的脉冲序列，相邻子脉冲之间的时间间隔调节范围在0～600fs之间。
3.根据权利要求1或2所述的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：步骤一中，调节入射到二氧化钛表面的子脉冲能量为烧蚀阈值的1.05倍。
4.根据权利要求1或3所述的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：步骤二中，激光聚焦点和二氧化钛的相对速度v为0或者10～100μm/s。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：该方法还包括，改变飞秒激光的偏振方向，调整范围为0～π，在二氧化钛表面形成不同伸展方向的亚波长周期性微纳结构，所述周期性微纳结构的伸展方向与飞秒激光的偏振方向垂直。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的二氧化钛表面周期结构加工方法，其特征在于：所述亚波长周期性微纳结构为周期性排列的一维条纹结构。
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