[发明专利]超声波指纹识别装置及其制作方法以及应用其的电子装置

权利要求书

1.一种超声波指纹识别装置，其特征在于，包括：

一电路基板，该电路基板上含有电路；

一压电层，设置于该电路基板一表面；

一第一电极，设置于所述压电层远离所述电路基板一侧表面，所述第一电极的厚度范围为0.005μm至1μm，所述第一电极表面粗糙度Ra小于或等于0.1；

一第二电极，形成于该电路基板上且与压电层远离第一电极的表面接触，该压电层通过该第二电极与该电路电性连接；以及

软性电路板，所述软性电路板与所述电路基板及所述第一电极电连接并为所述电路基板及所述第一电极提供电压信号。

2.如权利要求1所述的超声波指纹识别装置，其特征在于：所述第一电极为金属。

3.一种电子装置，该电子装置包括设置于其内的超声波指纹识别装置，其特征在于：

所述超声波指纹识别装置为权利要求1-2任意一项所述的超声波指纹识别装置。

4.一种超声波指纹识别装置的制备方法，其包括如下步骤：

提供一电路基板，所述电路基板上设置有电路及一第二电极，在该电路基板的一表面涂布压电聚合物材料并覆盖所述第二电极；

使所述压电聚合物材料干燥结晶；

通过物理气相沉积或化学气相沉积的方式在所述压电聚合物材料表面沉积一金属层以形成一第一电极，通过调控物理气相沉积或化学气相沉积使得所述第一电极后厚度范围保持在0.005μm至1μm，所述第一电极表面粗糙度Ra小于或等于0.1；

以所述第一电极为掩膜对所述压电聚合物材料蚀刻得到一压电层；以及

使所述第一电极与一软性电路板电性连接，所述软性电路板与所述电路基板及所述第一电极电连接并为所述电路基板及所述第一电极提供电压信号。

5.如权利要求4所述的超声波指纹识别装置的制备方法，还包括以下步骤：

在所述第一电极表面设置一盖板。