[发明专利]一种原子层沉积在线监控系统

权利要求书

1.一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：

所述监控系统设有检测元件、信号转化装置、信号处理系统和工艺控制系统；

所述检测元件设置在原子层沉积设备的气流流动处；

所述检测元件与信号转化装置连接，信号转化装置将检测元件的信号进行转化处理；

信号处理系统与信号转化装置和工艺控制系统连接，信号转化装置将实时工艺状态传送到信号处理系统；工艺控制系统将实时的理论工艺状态传送到信号处理系统，信号处理系统将实时工艺状态和理论工艺状态的拟合，实时监控工艺状态。

2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述在线监控系统设有报警系统，信号处理系统监测到实时工艺状态和理论工艺状态的拟合出现异常，启动报警系统。

3.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述信号处理系统记录工艺状态并储存数据，进行整体趋势分析，并根据整体趋势情况设定维护提醒。

4.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：信号处理系统根据检测元件的监测，对每日样品进行标准偏差的估算，并记录在中心数据处理系统中，通过观察每日样品标准偏差图来分析不合格品情况以及维修情况。

5.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述在线监控系统设有中心数据处理系统，信号处理系统与中心数据处理系统连接，中心数据处理系统记录信号处理系统的数据。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述检测元件设置在原子层沉积设备的反应腔内或者设置在气体抽离反应腔后的气流流动环境中。

7.根据权利要求6所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述检测元件设置1～N个(N≥2)。

8.根据权利要求1所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述信号转化装置将检测元件的物理变化特性转化为电信号。

9.根据权利要求1或8所述的一种原子层沉积在线监控系统，其特征在于：所述信号转化装置为椭偏仪、质谱仪、折射仪、X射线荧光光谱分析仪、石英秤、X射线质谱仪中的一种或者多种组合。