[发明专利]一种多晶硅片去油墨用夹具在审
| 申请号： | 201810507793.4 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108711559A | 公开（公告）日： | 2018-10-26 |
| 发明（设计）人： | 汪伟华 | 申请（专利权）人： | 浙江羿阳太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所(普通合伙) 33230 | 代理人： | 陈俊波 |
| 地址： | 313299 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 固定板 硅片 导轨 夹具 多晶硅片 两根导轨 活动板 油墨 金属波纹 平行 一次性固定 充分接触 氢氧化钠 相对设置 波浪形 可固定 滑动 多片 码放 气缸 托起 分隔 垂直 保证 | ||
1.一种多晶硅片去油墨用夹具，包括第一固定板(1)、第二固定板(7)和活动板(9)，其特征在于：所述第一固定板(1)与第二固定板(7)之间通过两根导轨(10)固定连接，所述第一固定板(1)与第二固定板(7)相对设置且相互平行，两根所述导轨(10)均垂直于第一固定板(1)和第二固定板(7)，且两根导轨(10)相互平行，所述导轨(10)上插设有活动板(9)和若干个金属波纹网(6)，所述第一固定板(1)面向活动板(9)的一面固定安装有伸缩气缸(3)，所述伸缩气缸(3)上设有气缸杆(4)，所述气缸杆(4)的尾端通过安装板(5)固定在活动板(9)的表面，所述金属波纹网(6)设置在活动板(9)与第二固定板(7)之间，相邻所述金属波纹网(6)之间放置有多晶硅片(8)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片去油墨用夹具，其特征在于，所述导轨(10)的两端设有圆型的安装片(12)，所述导轨(10)通过将螺栓插入安装片(12)固定在第一固定板(1)与第二固定板(7)上。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片去油墨用夹具，其特征在于，所述第一固定板(1)和第二固定板(7)的顶部均安装有牵引环(2)，所述牵引环(2)安装在第一固定板(1)和第二固定板(7)顶面的中间位置。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片去油墨用夹具，其特征在于，所述第一固定板(1)和第二固定板(7)上分别设有两个通孔，所述通孔沿第一固定板(1)和第二固定板(7)的长度方向上下贯通。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片去油墨用夹具，其特征在于，所述金属波纹网(6)的两侧中间位置设有锁片(11)，所述锁片(11)上设有穿孔(111)，所述穿孔(111)的直径大于等于导轨(10)的直径。
6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片去油墨用夹具，其特征在于，所述金属波纹网(6)呈波纹型弯折，且金属波纹网(6)为网格状编织结构。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
