[发明专利]用于校准至少一个传感器的方法在审
| 申请号： | 201810507973.2 | 申请日： | 2018-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN108931292A | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | B.康宁;K.H.鲍姆格特 | 申请（专利权）人： | 赫拉胡克两合公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01R29/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 姬亚东;刘春元 |
| 地址： | 德国利*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电元件 电极 校准 传感器 测量电极 激励电压 施加 机械变形 检测 变形 | ||
1.一种用于校准至少一个传感器的方法，其中所述传感器具有至少一个具有至少一个电极的压电元件（2），并且其中至少一个电极被构造为测量电极（3），
其特征在于：
将激励电压施加到压电元件（2）的至少一个另外的被构造为校准电极（4）的电极上，以用于产生压电元件（2）的机械变形，
利用至少一个测量电极（3）检测由压电元件（2）的变形所引起的电压，
比较施加的激励电压和检测的电压，
计算在校准电极（4）和测量电极（3）之间形成的电场，以及
电场的计算进入到校准因子的计算中。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述压电元件（2）的变形是收缩，特别是横向收缩。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，确定所检测的电压信号的电压幅度。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，确定所述激励电压的电压幅度与所测量的电压的电压幅度的比率，并且从所述比率计算校准因子。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，所述激励电压是交流电压，并且所述压电元件（2）的由所述交流电压引起的变形是振荡。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，涉及正弦激励电压，特别是具有变化频率的激励电压，特别是频率扫描。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，在利用所述测量电极（3）测量电压期间，同时将校准电压施加到所述校准电极（4）上。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，所述校准电极（4）和所述测量电极（3）两者都用于检测固体声信号。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，传感器的污染程度从所述激励电压和利用所述测量电极（3）检测到的由所述变形引起的电压推断出。
10.一种具有至少一个压电元件（2）的用于检测至少一个固体声信号的传感器装置，其中所述压电元件（2）具有至少一个构造为测量电极（3）的电极并且其中所述测量电极（3）与至少一个接地电极（5）相关联，
其特征在于：
所述压电元件（2）具有至少一个另外的电极，
至少一个另外的电极被构造为校准电极（4），并且
所述校准电极（4）至少分区段地包围所述测量电极（3）或者所述测量电极（3）至少分区段地包围所述校准电极（4）。
11.根据权利要求10所述的传感器装置，其特征在于，所述压电元件（2）平坦地构造并且所述压电元件（2）由薄膜，特别是PVDF薄膜构成。
12.根据权利要求10或11所述的传感器装置，其特征在于，所述校准电极（4）和所述测量电极（3）并排布置在一个平面中。
13.根据权利要求10至12中任一项所述的传感器装置，其特征在于，所述校准电极（4）和所述测量电极（3）相叠地布置。
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