[发明专利]晶体管元件有效
申请号: | 201810509508.2 | 申请日: | 2018-05-24 |
公开(公告)号: | CN109888000B | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 林诗婷;蔡镇宇 | 申请(专利权)人: | 南亚科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/78 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 郑特强;刘潇 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体管 元件 | ||
1.一种晶体管元件,包括:
一主动区,被一隔离结构所包围;
一栅极结构,设置在该主动区上,以及该栅极结构包括:
一本体部,沿着一第一方向延伸;
一头部,沿着一第二方向延伸;以及
一对翼部,设置在该本体部的相对两侧,其中该对翼部各与该头部和该本体部有接触;以及
一源极/漏极区,设置在该主动区中,
其中该头部包括一第一侧边,沿着该第一方向延伸;该本体部包括一第二侧边,沿着该第一方向延伸;以及该对翼部各包括一第三侧边,系与该头部的该第一侧边和该本体部的该第二侧边接触。
2.如权利要求1所述的晶体管元件,其中该本体部的该第二侧边和该翼部的该第三侧边形成一夹角,且该夹角为一钝角。
3.如权利要求2所述的晶体管元件,其中该夹角介于在130°和165°之间。
4.如权利要求1所述的晶体管元件,其中在该主动区上的一部分的该头部和该翼部包括一第一长度,且在该主动区上的一部分的该本体部包括一第二长度。
5.如权利要求4所述的晶体管元件,其中该第一长度和该第二长度的比介于1:3与1:12之间。
6.如权利要求1所述的晶体管元件,其中该对翼部的所述第三侧边和该本体部的该第二侧边,是与该源极/漏极的一边缘接触。
7.如权利要求1所述的晶体管元件,其中该栅极结构的一部分的该头部与该隔离结构重叠,以及该栅极结构的一部分的该本体部与该隔离结构重叠。
8.如权利要求1所述的晶体管元件,其中该头部的一宽度大于该本体部的一宽度。
9.一种晶体管元件,包括:
一主动区,是被一隔离结构包围;
一栅极结构,是设置在该主动区和该隔离结构上,以及该栅极结构包括:
一本体部,沿着一第一方向延伸;
一第一头部和一第二头部,是沿着一第二方向延伸,且该第二方向垂直于该第一方向,其中该第一头部和该第二头部设置在该本体部的相对两端;
一对第一翼部设置在该本体部的相对两侧,其中该对第一翼部各与该第一头部和该本体部有接触;以及
一对第二翼部设置在该本体部的相对两侧,其中该对第二翼部各与该第二头部和该本体部有接触;以及
一源极/漏极区,是设置在该主动区中,
其中该第一头部包括一第一侧边,是沿着该第一方向延伸;该本体部包括一第二侧边,是沿着该第一方向延伸;以及该第二头部包括一第三侧边,是延着该第一方向延伸,
其中该对第一翼部各包括一第四侧边,是与该第一头部的该第一侧边和该本体部的该第二侧边接触;以及该对第二翼部各包括一第五侧边,是与该第二头部的该第三侧边和该本体部的该第二侧边接触。
10.如权利要求9所述的晶体管元件,其中该本体部的该第二侧边和该对第一翼部的所述第四侧边各形成一第一夹角,该本体部的该第二侧边和该对第二翼部的所述第五侧边各形成一第二夹角,以及该第一夹角和该第二夹角为钝角。
11.如权利要求9所述的晶体管元件,其中该本体部的该第二侧边、该对第一翼部的所述第四侧边、以及该第二翼部的所述第五侧边,是与该源极/漏极的一边缘接触。
12.如权利要求10所述的晶体管元件,其中该第一夹角和该第二夹角各介于130°和165°之间。
13.如权利要求9所述的晶体管元件,其中在该主动区上的一部分的该第一头部和该第一翼部包括一第一长度,该本体部包括一第二长度,以及在该主动区上的一部分的第二头部和该第二翼部包括一第三长度。
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