[发明专利]热管以及热管的制造方法

说明书

提供一种薄型的热管。一种热管(1)，封入有工作流体(40)，该热管具备：第1金属层(10)，包括上表面(10a)和从上表面(10a)凹陷的多个有底孔(11)；以及第2金属层(20)，包括与第1金属层(10)的上表面(10a)接合的下表面(20b)和从下表面(20b)凹陷的凹部(21)。凹部(21)形成从工作流体汽化的蒸汽(41)移动的蒸汽层。相邻的有底孔(11)相互连通，多个有底孔(11)形成从蒸汽液化的工作流体移动的液层。

技术领域

本发明涉及热管以及热管的制造方法。

背景技术

作为对搭载于电子设备的CPU(Central ProcessingUnit)等发热部件进行冷却的冷却器件，已知有热管或均热板(Vapor chamber)等(例如，参见日本特开2015-10765号公报以及日本特开2016-188734号公报)。冷却器件具有工作流体，利用工作流体的相变化而输送热。由此，安装有冷却器件的发热部件被冷却。

便携设备器等电子设备正推进薄型化。因此，也要求冷却器件薄型化。

发明内容

本发明的一实施方式涉及一种热管，封入有工作流体。所述热管具备：第1金属层，包括上表面和从所述上表面凹陷的多个有底孔；以及第2金属层，包括与所述第1金属层的所述上表面接合的下表面和从所述下表面凹陷的凹部。所述凹部形成从所述工作流体汽化的蒸汽移动的蒸汽层。相邻的所述有底孔相互连通，使得所述多个有底孔形成从所述蒸汽液化的所述工作流体移动的液层。

本发明的另一实施方式涉及一种热管的制造方法。所述制造方法包括如下步骤：从所述第1金属板的上表面蚀刻第1金属板而形成多个有底孔；从所述第2金属板的下表面蚀刻第2金属板而形成凹部；在所述第1金属板的所述上表面接合所述第2金属板的所述下表面；以及从注入口向由被接合的所述第1金属板以及第2金属板形成的空间内注入工作流体，将所述注入口封闭。所述凹部形成从所述工作流体汽化的蒸汽移动的蒸汽层。形成所述多个有底孔的步骤包括：使相邻的所述有底孔部分地相互重合而使所述相邻的所述有底孔相互连通，以便所述多个有底孔形成从所述蒸汽液化的所述工作流体移动的液层。

发明效果

根据本发明，能够提供一种薄型的热管。

附图说明

图1A是第1实施方式的热管的概要剖视图。

图1B是图1A的热管的概要俯视图。

图1C是示出热管的有底孔的图1A的局部放大剖视图。

图1D是示出热管的第1金属层的图1B的局部放大俯视图。

图2是说明热管的功能的概要剖视图。

图3A是说明热管的作用的概要剖视图。

图3B是说明热管的作用的概要俯视图。

图4A～4E是示出图1A的热管的制造方法的概要剖视图。

图5A是第2实施方式的热管的概要剖视图。

图5B是图5A的热管的概要俯视图。

图6～9是各种变形例的热管的概要俯视图。

图10是其他变形例的热管的概要剖视图。

具体实施方式

以下参照附图说明各实施方式。另外，附图中存在为了便于理解特征而将局部放大示出的情况，各构成要素的尺寸比率等并不一定与实际相同。另外，在剖视图中，为了便于理解各部件的截面结构，将一部分部件的剖面线用梨皮花纹代替示出，省略一部分部件的剖面线。

另外，在以下的说明中，“俯视”是指从铅直方向(例如、图1A中的上下方向)观看对象物，“平面形状”是指从铅直方向观看对象物时的形状。