[发明专利]玻璃应力缺陷的检测方法和装置有效
申请号: | 201810515307.3 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN110530800B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 黄继欣;王昌奇;王大鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市杰普特光电股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/23 | 分类号: | G01N21/23;G01N21/88;G01N21/95;G01L5/00 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 石佩 |
地址: | 518100 广东省深圳市龙华新区观澜*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 应力 缺陷 检测 方法 装置 | ||
1.一种玻璃应力缺陷的检测方法,其特征在于,所述方法包括:
使线偏振光依次通过玻璃样品、四分之一波片和检偏镜,其中所述线偏振光的偏振方向与所述检偏镜的偏振轴正交;
当所述四分之一波片的光轴处于第一角度时采集所述玻璃样品的第一成像,所述第一角度为所述四分之一波片的光轴相对于所述线偏振光的偏振方向与所述检偏镜的偏振轴的45度角平分线的角度;
当所述四分之一波片的光轴处于第二角度时采集所述玻璃样品的第二成像,所述第二角度与所述第一角度的大小相等、符号相反;
获取所述第一成像的灰度值与所述第二成像的灰度值;以及
将所述第一成像的灰度值与所述第二成像的灰度值进行差值运算,以得到过滤处理后的成像;
对所述过滤处理后的成像进行卷积处理,以得到降噪处理后的成像;
对所述降噪处理后的成像进行二值化处理,以确定缺陷异常区域,并生成第三成像,所述第三成像中包括缺陷异常区域;以及
根据所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值与所述第二成像中对应的灰度值确定所述缺陷异常区域是否为应力缺陷区域。
2.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述根据所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值与所述第二成像中对应的灰度值确定所述缺陷异常区域是否为应力缺陷区域,包括:
将所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值和所述第二成像中对应的灰度值进行比较:
若所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值和所述第二成像中对应的灰度值之间的差值的绝对值满足预设条件,则判定所述缺陷异常区域为应力缺陷区域;否则判定所述缺陷异常区域不为应力缺陷区域。
3.根据权利要求1-2任意一项所述的检测方法,其特征在于,所述线偏振光由白光光源发出的光入射通过起偏镜来产生,所述起偏镜的偏振轴与所述检偏镜的偏振轴正交。
4.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述第二角度与所述第一角度的大小相等、符号相反包括:所述第二角度与所述第一角度的大小的取值范围为3°-10°,且符号相反。
5.根据权利要求1所述的检测方法,其特征在于,所述将所述第一成像的灰度值与所述第二成像的灰度值进行差值运算包括:将第一成像的灰度值与第二成像的灰度值相减除以2之后的结果再加上128;或者,将第一成像的灰度值减去第二成像的灰度值再取绝对值。
6.一种玻璃应力缺陷的检测装置,所述装置使线偏振光依次通过玻璃样品、四分之一波片和检偏镜,其中所述线偏振光的偏振方向与所述检偏镜的偏振轴正交;其特征在于所述装置包括:
第一成像采集模块,用于当四分之一波片的光轴处于第一角度时采集所述玻璃样品的第一成像,所述第一角度为四分之一波片的光轴相对于所述线偏振光的偏振方向与所述检偏镜的偏振轴的45度角平分线的角度;
第二成像采集模块,用于当四分之一波片的光轴处于第二角度时采集所述玻璃样品的第二成像,所述第二角度与所述第一角度的大小相等、符号相反;
灰度值获取模块,用于获取所述第一成像的灰度值与所述第二成像的灰度值;
第三成像生成模块,用于将所述第一成像的灰度值与所述第二成像的灰度值进行差值运算,以得到过滤处理后的成像;
对所述过滤处理后的成像进行卷积处理,以得到降噪处理后的成像;
对所述降噪处理后的成像进行二值化处理,以确定缺陷异常区域,并生成所述第三成像,所述第三成像中包括缺陷异常区域;
判断模块,用于根据所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值与所述第二成像中对应的灰度值确定所述缺陷异常区域是否为应力缺陷区域。
7.根据权利要求6所述的检测装置,其特征在于,所述判断模块具体用于:
将所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值和所述第二成像中对应的灰度值进行比较;
若所述缺陷异常区域在所述第一成像中对应的灰度值和所述第二成像中对应的灰度值之间的差值的绝对值满足预设条件,则判定所述缺陷异常区域为应力缺陷区域;否则判定所述缺陷异常区域不为应力缺陷区域。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市杰普特光电股份有限公司,未经深圳市杰普特光电股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810515307.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种晶圆最大加工损伤的精准定位方法
- 下一篇:全光谱水质分析系统