[发明专利]一种半导体静电测试装置

说明书

本发明公开一种半导体静电测试装置，包括静电测试枪、调节机构和底座，调节机构安装在底座上，且调节机构上安装有静电测试枪，调节机构包括第一滑台气缸、第二滑台气缸和支撑架，第一滑台气缸安装在底座上，且第一滑台气缸上方安装有第二滑台气缸，支撑架安装在第二滑台气缸上方，且支撑架上方设置有静电测试枪，本发明解决了现有技术中手持检测设备检测不方便的技术问题。

技术领域

本发明涉及二极管检测技术领域，尤其涉及一种半导体静电测试装置。

背景技术

一般电子元器件属于静电敏感器件，从生产到使用的全过程都遭受到静电破坏的威胁，二极管抗静电能力测试已逐步成为现在行业关注的焦点，以往的测试方法是人工手持测试设备，长期检测会导致人员疲劳，影响测试进度及结果。

授权公告号CN 206339600U的专利公开了一种静电枪的定位装置，该定位装置包括:底座、枪头支架、螺旋杆以及摇轮，底座呈“L形，螺旋杆固定在底座上，且与底座的第一端平行设置，摇轮设置在螺旋杆上，枪头支架的一端与螺旋杆连接，枪头支架的另一端用于放置静电枪，手动调节摇轮可以调节枪头支架的高度。该专利主要是可以对静电枪上下调整，能够兼容不同尺寸终端的不同摆放位置需求，但是该专利无法实现平面上的移动调节，同时从该专利的附图中可以看出，静电枪的枪头是竖直方向方向，这样不易于进行检测。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体静电测试装，解决了现有技术中的检测时，都是人工手持测试设备，或者静电枪支架不能进行平面方向调节的技术问题。

一种半导体静电测试装置，包括静电测试枪、调节机构和底座，所述调节机构安装在底座上，且调节机构上安装有所述静电测试枪，所述调节机构包括第一滑台气缸、第二滑台气缸和支撑架，所述第一滑台气缸安装在底座上，且第一滑台气缸上方安装有所述第二滑台气缸，所述支撑架安装在第二滑台气缸上方，且支撑架上方设置有所述静电测试枪。

在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进：

进一步地，所述第一滑台气缸的滑台运动方向和第二滑台气缸的滑台运动方向垂直，采用本步的有益效果是利用第一滑台气缸和第二滑台气缸能够实现平面X或者Y轴方向的运动。

进一步地，所述支撑架包括水平板和竖直板，所述水平板通过铰接螺栓安装在第二滑台气缸的滑台上，所述竖直板上开设有用于放置静电测试枪的枪头的通孔，且竖直板安装在水平板的端部，采用本步的有益效果是通过水平板在第二滑台气缸的滑台上旋转，这样能够便于调节静电枪枪头的位置。

进一步地，所述调节机构还包括锁紧螺栓，所述锁紧螺栓设置在竖直板上，且锁紧螺栓的端部与所述静电测试枪的枪头表面接触，采用本步的有益效果是将静电测试枪的枪头放置在通孔内部后，通过锁紧螺栓将枪头固定住，便于后续调节。

进一步地，所述竖直板底部开设有调节孔，所述调节孔内部设置有调节螺栓，所述调节螺栓将竖直板固定在水平板的端部，采用本步的有益效果是调节孔能够便于竖直板上下调节，这样通孔就能够上下调节，实现Z轴方向的调节。

进一步地，所述调节孔为腰形孔，采用本步的有益效果是通过腰形的调节孔可以便于调节竖直板的位置。

进一步地，它还包括治具，所述治具安装在底座上，且治具与所述静电测试枪的枪头相对应，采用本步的有益效果是利用治具放置半导体，便于进行静电测试。

进一步地，所述治具包括两个治具竖直板和一个治具框架，所述治具竖直板间隔设置，且治具竖直板上方连接有所述治具框架，所述治具框架上间隔开设多个放置孔，且治具框架内部间隔设置有多个金属片组，所述金属片组的数目和放置孔的数目一致，且金属片组位于放置孔下方，所述金属片组的底部通过导线并联，采用本步的有益效果是利用金属片组和导线相互配合形成接地的电路，供静电测试用。