[发明专利]光扫描装置有效
申请号: | 201810515872.X | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN108983416B | 公开(公告)日: | 2021-04-06 |
发明(设计)人: | 猪田岳司 | 申请(专利权)人: | 船井电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马爽;臧建明 |
地址: | 日本大阪府大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描 装置 | ||
本发明提供一种光扫描装置。光扫描装置具备:支撑部,包括能够摆动的耦合部、及将所述耦合部以能够摆动的方式加以支撑的框架;第一反射部,与所述耦合部耦合,并与所述耦合部一起摆动;以及能够摆动的连结部,包括桥部和第二反射部,所述第二反射部经由所述桥部耦合于所述第一反射部且位于自所述第一反射部起超出所述支撑部的位置。
技术领域
本发明涉及一种对来自光源的光进行反射的光扫描装置。更详细来说,涉及一种可利用小驱动力扫描反射镜(mirror)且可高精度地进行位置检测的光扫描装置。
背景技术
以往,已知有一种如下技术:对测定对象照射激光光,并接收来自所述测定对象的反射光,基于所述反射光的信息来检测至测定对象的距离。这种技术在进行光的扫描时,通常利用包括一片反射镜的扫描反射镜(scanner mirror)将激光光出射至对象区域以及接收来自测定对象的反射光。基于所接收到的反射光的反射速度及入射角度来获取测定对象的位置信息(例如,专利文献1)。
一般来说,在利用光扫描装置的位置检测中,通过尽可能多地接收来自测定对象的反射光,可抑制所接收的光量的不均,由此提高检测精度。因此,作为光接收用反射镜,期望采用光接收面积大者。然而,在利用一片反射镜将激光光出射以及接收来自测定对象的反射光的现有技术中,必须在所述反射镜的一部分中确保激光光的出射区域,因此作为光接收用反射镜的光接收面积(光接收区域)的大小存在限制。
另外,若利用一片反射镜进行激光光的出射与反射光的接收,则入射至出射区域中的直射光容易绕入光接收区域中,所绕入的直射光成为无用光,从而测距精度恶化。
作为现有例,图15中示出光扫描装置8。所述光扫描装置8包括:板状的反射镜81、相同板状的固定部82、及铰合(hinge)部83。反射镜81的上下中央经由铰合部83而连结于固定部82。在光扫描装置8中,出射光用区域812(光斑)被分配在反射镜81的下部中央。在出射光用区域812的更上方形成有光接收用区域811。因此,反射镜81下部的包括出射光用区域812的左右两侧和上下方向的一部分在内的矩形区域成为未使用区域813。
来自激光光源(未图示)的激光光在出射光用区域812被反射,并沿着扫描线SLc进行光扫描。照射至测定对象(图15中为指尖F)的激光光发生反射并入射至光接收用区域811,作为测定光,利用未图示的光学系统实施规定处理,从而测定屏幕9的表面S上的测定对象(指尖F)的位置。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]国际公开第2008/149851号
发明内容
[发明所要解决的问题]
在图15所示的光扫描装置8中,为了避免自未图示的激光光源入射至出射光用区域812的光、与自测定对象(指尖F)入射至光接收用区域811的光的干扰,而产生了未使用区域813。所述未使用区域813的存在使反射镜81的空气阻力增大。因此,若增大扫描反射镜的光接收面积,则未使用区域813变大,且用以获得所需摆角的驱动力变大成为问题。
本发明的目的在于提供一种可利用小驱动力扫描反射镜且高精度地进行位置检测的光扫描装置。
[解决问题的技术手段]
因此,本发明人等人发现,通过将作为出射光用反射镜起作用的第二反射部设置在远离作为光接收用反射镜起作用的第一反射部的部位、且将第二反射部配置在具有框形状的框架的外侧,可一面充分确保第一反射部所需要的面积,一面消除无助于出射或光接收的区域,由此减少驱动力,从而完成了本发明。即,本发明包括以下技术事项。
(1)一种光扫描装置,具备:
支撑部,包括能够摆动的耦合部、及将所述耦合部以能够摆动的方式加以支撑的框架;
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