[发明专利]月尘光电清除系统除尘电极及其制作方法有效
| 申请号： | 201810516615.8 | 申请日： | 2018-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN108580440B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 姜晶;闫晓腾;赵宏跃;岳洪浩 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学(威海) |
| 主分类号： | B08B6/00 | 分类号： | B08B6/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 岳昕 |
| 地址： | 264209*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光电 清除 系统 除尘 电极 及其 制作方法 | ||
1.月尘光电清除系统除尘电极，其特征在于，除尘电极包括上层聚酰亚胺绝缘膜(1)、下层聚酰亚胺绝缘膜(2)和多个条形导体电极(3)；
多个条形导体电极(3)等间距均匀设置在上层聚酰亚胺绝缘膜(1)和下层聚酰亚胺绝缘膜(2)之间，多个条形导体电极(3)之间导通，上层聚酰亚胺绝缘膜(1)上开有裸露一部分电极的圆孔(4)；
将除尘电极中多个条形导体电极(3)做成若干分块，每一分块条形导体电极(3)均通过在上层聚酰亚胺绝缘膜(1)上打的圆孔(4)裸露一部分电极；所有镧改性锆钛酸铅的同一电极与被除尘表面的导电层利用导线连通，将每一片镧改性锆钛酸铅的另一电极分别通过导线与各分块条形导体电极(3)裸露的电极导通。
2.根据权利要求1所述的月尘光电清除系统除尘电极，其特征在于，条形导体电极(3)为铜铂或铝铂电极。
3.根据权利要求1所述的月尘光电清除系统除尘电极，其特征在于，所述圆孔(4)的直径约为5mm。
4.根据权利要求1所述的月尘光电清除系统除尘电极，其特征在于，多个条形导体电极(3)的齿宽为1mm，齿缝宽1mm。
5.权利要求1所述月尘光电清除系统除尘电极的制作方法，其特征在于，制作方法的具体过程为：
步骤1、下层聚酰亚胺绝缘膜(2)选用镀铜聚酰亚胺薄膜；
步骤2、采用化学刻蚀方法在下层聚酰亚胺绝缘膜(2)蚀刻出与条形导体电极(3)匹配的形状；
步骤3、将条形导体电极(3)布置在下层聚酰亚胺绝缘膜(2)上；
步骤4、上层聚酰亚胺绝缘膜(1)选用带胶的聚酰亚胺绝缘膜；
步骤5、将上层聚酰亚胺绝缘膜(1)与下层聚酰亚胺绝缘膜(2)贴合；
步骤6、在上层聚酰亚胺绝缘膜(1)的一侧打一个能够裸露一部分条形导体电极(3)的圆孔(4)。
6.根据权利要求5所述的月尘光电清除系统除尘电极的制作方法，其特征在于，步骤1所述镀铜聚酰亚胺薄膜的厚度为10-50μm。
7.根据权利要求5所述的月尘光电清除系统除尘电极的制作方法，其特征在于，步骤4所述带胶的聚酰亚胺绝缘膜的厚度为20μm-50μm。
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