[发明专利]一种电子光学系统

权利要求书

1.一种电子光学系统，其特征在于，所述电子光学系统至少包括：磁场和非轴对称透镜群，其中，

所述磁场用于分离初始入射电子和出射电子的运动轨道并实现电子运动方向的偏转，使得所述初始入射电子偏转第一设定角度，并使得所述出射电子偏转第二设定角度，所述磁场在垂直磁场方向和平行磁场方向具有不同的电子光学特性；所述非轴对称透镜群用于补偿磁场电子光学特性在垂直及平行磁场方向的非对称性，减小像差，并与磁场相配合使电子束在像平面上在沿垂直磁场方向和平行磁场的两个方向上同时成像。

2.根据权利要求1所述的电子光学系统，其特征在于：所述第一设定角度为(0°，360°)，所述第二设定角度为(0°，360°)。

3.根据权利要求2所述的电子光学系统，其特征在于：所述第一设定角度及所述第二设定角度为10°、15°、20°、25°、30°、45°、60°、90°、120°、135°或180°中任意一个角度或任意两个角度。

4.根据权利要求1所述的电子光学系统，其特征在于：所述非轴对称透镜群包括多个透镜组，其中至少一个透镜组为非轴对称透镜组。

5.根据权利要求4所述的电子光学系统，其特征在于：所述非轴对称透镜群包括第一透镜组、第二透镜组及第三透镜组。

6.根据权利要求4或5所述的电子光学系统，其特征在于：所述非轴对称透镜组至少包括一个非轴对称透镜。

7.根据权利要求6所述的电子光学系统，其特征在于：所述非轴对称透镜为圆柱形电透镜一分为多而构筑的电多极透镜。

8.根据权利要求7所述的电子光学系统，其特征在于：所述非轴对称透镜为电四极透镜。

9.根据权利要求7所述的电子光学系统，其特征在于：可以通过调整所述电多极透镜的电极电压，实现电子束的偏转。