[发明专利]一种激光光束的高倍率扩束系统

权利要求书

1.一种激光光束的高倍率扩束系统，其特征在于它为无中心遮拦的共轴四反系统结构，包括组合圆锥反射镜（1）、球面反射镜（2）和抛物面反射镜（3）；所述的组合圆锥反射镜（1）由共轴的圆锥反射镜（101）和内圆锥面反射镜（102）组成，它们的顶角相同，所述抛物面反射镜（3）的中心处开孔；按光线入射方向，与主光轴（4）平行的入射激光光束（5）通过抛物面反射镜（3）的中心孔入射到组合圆锥反射镜（1）的圆锥反射镜（101）上，再经内圆锥面反射镜（102）反射，输出与入射激光光束（5）平行的环形光；球面反射镜（2）将组合圆锥反射镜（1）输出的环形光反射至抛物面反射镜（3），得到大环形光斑、小发散角的扩束激光。

2.根据权利要求1所述的一种激光光束的高倍率扩束系统，其特征在于：所述的球面反射镜（2）、抛物面反射镜（3）、圆锥反射镜（101）和内圆锥面反射镜（102）的材料均为铝。

3.根据权利要求1所述的一种激光光束的高倍率扩束系统，其特征在于：所述的球面反射镜（2）和抛物面反射镜（3）的表面镀有厚度为1.54um的高反射膜。

4.根据权利要求1所述的一种激光光束的高倍率扩束系统，其特征在于：它的扩束倍率为50及以上。

5.根据权利要求1所述的一种激光光束的高倍率扩束系统，其特征在于：入射激光的发散角θ₁为12.5mrad，光束的直径D₁为0.25mm；组合圆锥反射镜（1）中，圆锥反射镜（101）的底面直径D₂为3.5mm，内圆锥面反射镜（102）的底面直径D₃为7mm，它们的顶角为45°；球面反射镜（2）的顶点曲率半径R₁为10.2mm，口径D₄为6mm，与组合圆锥反射镜（1）的距离d₁为23.48mm；抛物面反射镜（3）的二次曲面系数K₁为1，顶点曲率半径R₂为45.134mm，口径D₅为13.2mm，与球面反射镜（2）的距离d₂为18.3mm。