[发明专利]一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法

权利要求书

1.一种臭氧气敏传感器阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将小分子改性剂溶解在去离子水中，并经过超声分散后，得到摩尔浓度为0.8-1.2mmol/L的改性剂溶液；其中，所述小分子改性剂为盐酸羟胺；

(2)将羧基化碳纳米管粉末和改性剂溶液按照0.02g：3-5ml的质量体积比混合，经过30-60min的超声分散，得碳纳米管分散液；

(3)将碳纳米管分散液在室温下静止放置46-50h后，离心，得沉淀物；

(4)将沉淀物与去离子水按照1:3.5-4.5的质量比混合均匀后，得糊状物；

将糊状物均匀地涂覆到叉指电极上，并在室温下干燥12-24h，得传感芯片；

将传感芯片制作成传感器，得传感器1；

(5)重复步骤(1)-(4)5次，依次得传感器2、传感器3、传感器4、传感器5和传感器6；其中，所述小分子改性剂依次为氨基乙酸、丁二酸、十六烷基三甲基溴化铵、8-羟基喹哪啶和芘；

(6)将传感器1-6的两端持续加上0.1V的电压，通电老化22-26h后，组成传感器阵列，得所述臭氧气敏传感器阵列。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(1)中，超声分散的时间为8-12min。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(1)中，所述改性剂溶液的摩尔浓度为1mmol/L；

所述超声分散的时间为10min。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(2)中，所述基化碳纳米管粉末和改性剂溶液按照0.02g：4ml的质量体积比混合。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(3)中，碳纳米管分散液在室温下静止放置48h。

6.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(4)中，传感芯片作为传感器的衬底。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(6)中，所述电压为直流电压。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，其中，

所述步骤(6)中，所述老化时间为24h。

9.一种臭氧及其常见干扰物的检测方法，其特征在于，采用权利要求1-8任意一项所述制备方法制备得到的所述臭氧气敏传感器阵列，将动力学和热力学参数结合起来分析处理数据。