[发明专利]一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件

权利要求书

1.一种多类型气体传感用多元热释电敏感元件，包括n个红外敏感单元，n≥1，其特征在于：

各红外敏感单元结构相同，包括两个结构层：第一结构层，包含热释电材料以及上下电极，组成一个传统的红外敏感元；第二结构层，M-I-M超材料结构，即底层金属层、介质层和顶部金属图形层组成的三层薄膜，构成超材料红外完美吸波结构MPA；且第二结构层的底层金属层同时作为第一结构层的上电极；

所述超材料红外完美吸波结构的顶部金属图形层进行分区图形化处理，在不同区域制备不同设计尺寸的金属纳米图形结构，针对不同气体的红外吸收峰波长；将分区图形化处理后的不同区域切割开，每一个区域作为一个红外敏感单元，单元间的切割沟道用做热隔离和信号隔离。

2.如权利要求1所述多类型气体传感用多元热释电敏感元件，其特征在于：所述上电极预留一个小区域不覆盖后续的超材料红外吸收结构，使热释电材料的上电极裸露出来，用于将电信号引出。