[发明专利]一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法

权利要求书

1.一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜的方法，包括如下顺序的步骤：

玻璃基片或硅基片的清洗；

先将2.0～5.0份TeO₂放入30～120份的溶剂中，待其完全反应后，将1.0～3.0份Cu(NO₃)₂、1.0～3.0份Al(NO₃)₃放入，使溶液中的物质均匀混合；

制作表面均匀涂布步骤b所述溶液的基片，自然晾干，得到前驱体薄膜样品；

将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触；水合联氨放入量为30.0～45.0份；将上述装有前驱体薄膜样品的密闭容器放入烘箱中，加热至160～220℃之间，保温时间10～60小时，然后冷却到室温取出；

取出自然干燥后，重复b、c和d步骤2~6次，以增加所制备薄膜的厚度；

将步骤e所得物，使其常温自然干燥后，增加热处理工艺，在管式加热炉中加热至200~400℃，保温5~15小时，即得到铜铝碲光电薄膜。

2.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法，其特征在于，步骤a所述清洗，将玻璃片或硅片切至20mm×20mm×2mm大小作为薄膜基片，然后用去离子水清洗2~3次，随后经过稀硫酸煮沸30~40min、水浴加热40~50min、去离子水超声清洗20min这三个重要清洗步骤后，用双氧水浸泡保存备用即可。

3.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法，其特征在于，步骤b所述溶剂为盐酸溶液。

4.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法，其特征在于，步骤c所述均匀涂抹的基片，是通过匀胶机旋涂，匀胶机以200～3500转/分旋转，然后对基片进行烘干后，再次如此重复2～8次，得到了一定厚度的前驱体薄膜样品。

5.如权利要求1所述的一种硝酸盐体系制备铜铝碲光电薄膜的方法，其特征在于，步骤d所述密闭容器内放入30.0～45.0份水合联氨。