[发明专利]一种气动执行器应用的低磨损导向杆及其表面工艺

权利要求书

1.一种气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：

步骤(1)，提供一导向杆的碳素钢基材，打磨其表面，并将打磨后的碳素钢基材放置于酸性溶液中，充分洗涤取出后再水洗干燥，得到预处理的基材；

步骤(2)，利用霍尔气体离子源对所述基材进行气体轰击来强化预处理的基材表面，霍尔源工作电压为500～1800V，轰击环境温度600～800℃，轰击时间2～3h；

步骤(3)，采用Nd：YAG脉冲激光打孔器在步骤(2)处理后的基材表面打圆孔，孔径为0.06～0.1mm，面积率为10％～25％，得到表面织构化的基材；

步骤(4)，采用磁过滤沉积技术在表面织化的基材表面分别沉积ZrB₂靶和MoS₂靶，形成涂覆于基材表面的固体涂层，进而得到表面工艺处理后的导向杆。

2.根据权利要求1所述的气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，步骤(1)中所述的酸性溶液为含硫酸1～2mol/L和氢氟酸0.5～1mol/L的溶液。

3.根据权利要求1所述的气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，步骤(2)中所述的气体为氦气、氩气。

4.根据权利要求1所述的气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，步骤(4)中所述的ZrB₂靶所占质量百分数为30～65％，所述的MoS₂靶所占质量百分数为35～70％。

5.根据权利要求1所述的气动执行器应用的低磨损导向杆的制备工艺，其特征在于，步骤(4)中所述磁过滤沉积技术采用起弧电流90～120A，弯管磁场2.0～4.0A，束流200～800mA，采用负压-800V～-300V进行沉积。

6.一种气动执行器应用的低磨损导向杆，其特征在于，该导向杆经由根据权利要求1～5任意一项所述的制备工艺制备得到。