[发明专利]一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统

说明书

本发明公开了一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，包括产品精制塔，所述产品精制塔通过管道与薄膜蒸发器连接，所述产品精制塔的顶部通过管道与冷凝器连接，所述冷凝器的底部通过管道与回流罐连接，所述回流罐通过管道与剥离液回收罐连接，在回流罐与剥离液回收罐之间的管道上设置有回流泵、在线混合器，所述线混合器的入口端设置有浓度检测器，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器连接的A组分存储罐和B组分存储罐，所述A组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置有A组分调节泵，所述B组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置B组分调节泵。本发明实现了对回收剥离液的精制，且能够确保回收剥离液的组分含量。

技术领域

本发明涉及剥离液回收技术领域，具体涉及一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统。

背景技术

近几年国内电子制造产业发展迅速，剥离液等电子化学品的使用量也大为增加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。通常使用的剥离液主要包括有机胺和极性有机溶剂的混合物，并含有以少量水为代表的轻组分。

在剥离液应用过程中产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是具有利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而且这些溶剂价格昂贵，从资源化的观点出发，循环再生这些溶剂不仅可以减少对环境的危害，还能减低企业的生产成本。

剥离液的回收工艺主要包去除水分段、光刻胶去除段和精制回收段，即剥离液废液依次经过水分去除、光刻胶去除和精制会收获得剥离液。

发明内容

本发明的目的在于提供一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，实现对回收剥离液的精制，且能够确保回收剥离液的组分含量。

本发明通过下述技术方案实现：

一种剥离液再生工艺段的回用剥离液精制系统，包括产品精制塔，所述产品精制塔通过管道与薄膜蒸发器连接，所述产品精制塔的顶部通过管道与冷凝器连接，所述冷凝器的底部通过管道与回流罐连接，所述回流罐通过管道与剥离液回收罐连接，在回流罐与剥离液回收罐之间的管道上设置有回流泵、在线混合器，所述线混合器的入口端设置有浓度检测器，在线混合器通过管道与产品精制塔连接，还包括组分补给系统，所述补给系统包括与在线混合器连接的A组分存储罐和B组分存储罐，所述A组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置有A组分调节泵，所述B组分存储罐与在线混合器之间的管道上设置B组分调节泵。

剥离液的组成为：乙醇胺70％，二甲基亚砜30％。

剥离液废液的组成为：水3％，乙醇胺67.2％，二甲基亚砜28.8％。

剥离液废液依次经过除水、除去光刻胶，然后在进入产品精制塔内进行产品精制最后获得回收剥离液。

本发明所述产品精制塔、薄膜蒸发器、在线混合器、浓度检测器均为现有技术，A组分和B组分分别为乙醇胺和二甲基亚砜。

本发明的工作过程：

由薄膜蒸发器蒸发的物料蒸汽通过管道进行产品精制塔，物料蒸汽向上穿过塔填料与回流的液态物料在填料中传热传至，达到纯化物料并捕集雾沫的作用。气态物料由塔顶进行冷凝器中冷凝为液态，通过回流泵将部分物料回流至产品精制塔内，另一部分被输送至剥离液回收罐回收。

由于蒸发出的物料浓度配比不一定符合成品的要求(成品的要求为剥离液的组成为：乙醇胺70％，二甲基亚砜30％)，因此，本发明通过设置在线混合器和述补给系统，所述补给系统能够向在线混合器补充A组分或B组分，具体操作为：在线混合器的入口端设置浓度检测器，如果浓度检测器检测到回收剥离液中的浓度有偏差，并且通过判断是正偏差还是负偏差的方式来确定是需要补充A组分还是B组分，如果需要补充A组分，则启动A组分调节泵，如果需要补充B组分，则启动B组分调节泵。